多晶硅还原炉流场与温度场数值仿真研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 研究背景与目的 | 第10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-17页 |
| 1.2.1 多晶硅的制备方法 | 第11-13页 |
| 1.2.2 改良西门子法 | 第13-15页 |
| 1.2.3 实验研究进展 | 第15-16页 |
| 1.2.4 数值模拟进展 | 第16-17页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 相关理论 | 第18-23页 |
| 2.1 流体运动基本微分方程 | 第18-19页 |
| 2.2 湍流理论 | 第19-20页 |
| 2.3 传热理论（辐射模型） | 第20-21页 |
| 2.4 FLUENT介绍 | 第21-22页 |
| 2.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 多晶硅还原炉数值模拟 | 第23-34页 |
| 3.1 建模过程 | 第23-26页 |
| 3.1.1 模型简化 | 第23-25页 |
| 3.1.2 网格划分 | 第25-26页 |
| 3.2 参数设定 | 第26-29页 |
| 3.2.1 边界条件设置 | 第26-27页 |
| 3.2.2 流体介质属性设置 | 第27-29页 |
| 3.3 数值计算 | 第29页 |
| 3.4 结果分析 | 第29-33页 |
| 3.4.1 多晶硅还原炉流场分析 | 第30-31页 |
| 3.4.2 多晶硅还原炉温度场分析 | 第31-33页 |
| 3.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 多晶硅还原炉流场优化 | 第34-60页 |
| 4.1 优化出口直径后温度场和流场分析 | 第34-39页 |
| 4.1.1 优化模型建模 | 第34-35页 |
| 4.1.2 数值仿真与结果分析 | 第35-39页 |
| 4.2 优化炉顶封头后温度场和流场分析 | 第39-58页 |
| 4.2.1 优化模型建模 | 第40-41页 |
| 4.2.2 数值仿真与结果分析 | 第41-58页 |
| 4.3 本章小结 | 第58-60页 |
| 第5章 结论与展望 | 第60-62页 |
| 5.1 总结 | 第60-61页 |
| 5.2 展望 | 第61-62页 |
| 第6章 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
