| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1. 引言 | 第9-17页 |
| 1.1 课题来源 | 第9-12页 |
| 1.2 背景调研 | 第12-15页 |
| 1.2.1 惯性传感器中电荷管理的研究 | 第12-14页 |
| 1.2.2 基于扭称的导体表面电势研究 | 第14-15页 |
| 1.3 课题研究的目的与意义 | 第15-16页 |
| 1.4 论文主要研究内容 | 第16-17页 |
| 2. 静电扭摆以提高系统的角度响应灵敏度 | 第17-35页 |
| 2.1 传统扭摆和静电扭摆的理论分析 | 第17-21页 |
| 2.1.1 传统扭摆系统分析 | 第17-18页 |
| 2.1.2 静电扭摆系统分析 | 第18-21页 |
| 2.2 静电扭摆系统实验装置的搭建 | 第21-28页 |
| 2.2.1 检验质量的加工 | 第21-22页 |
| 2.2.2 静电扭摆系统的安装 | 第22-28页 |
| 2.3 静电扭摆实验和结果 | 第28-34页 |
| 2.3.1 理论上传统扭摆和静电扭摆的力矩分辨率 | 第28-30页 |
| 2.3.2 传统扭摆和静电扭摆力矩噪声水平的测量和比较 | 第30-31页 |
| 2.3.3 传统扭摆和静电扭摆对外界引力力矩的响应 | 第31-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 3. 利用静电扭摆测量检验质量表面电势 | 第35-61页 |
| 3.1 检验质量表面电势测量方案设计 | 第35-40页 |
| 3.1.1 通过测量扭摆周期变化来检测检验质量表面电势 | 第35-37页 |
| 3.1.2 通过测量扭摆平衡位置变化来检测检验质量表面电势 | 第37-40页 |
| 3.2 实验装置的搭建及初步测试 | 第40-49页 |
| 3.2.1 自由扭摆的安装及测试 | 第40-42页 |
| 3.2.2 接金丝前自由扭摆的测试 | 第42-44页 |
| 3.2.3 接金丝后自由扭摆的测试 | 第44-45页 |
| 3.2.4 接金丝前后自由扭摆的本底测试 | 第45-48页 |
| 3.2.5 静电扭摆的安装 | 第48-49页 |
| 3.3 检验质量电势的测量及精度验证 | 第49-60页 |
| 3.3.1 检验质量电势测量的结果 | 第49-52页 |
| 3.3.2 极板加载不同电压测量检验质量电势的结果 | 第52-55页 |
| 3.3.3 检验质量电势随时间变化的结果 | 第55-56页 |
| 3.3.4 检验质量电势测量精度的验证 | 第56-60页 |
| 3.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 4. 总结与展望 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 附录1硕士期间发表的论文 | 第68页 |
