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磁控溅射法制备有序多孔CeO2薄膜及其物性研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
1 绪论第9-15页
    1.1 引言第9-10页
    1.2 二氧化铈的性质第10-11页
    1.3 二氧化铈材料的应用第11页
    1.4 阻变存储器概述第11-12页
    1.5 氧空位缺陷第12-13页
    1.6 本论文选题背景及研究内容第13-15页
2 实验方法与表征第15-23页
    2.1 阳极氧化法第15-17页
        2.1.1 实验仪器及原材料第15-16页
        2.1.2 PAA模板的制备过程第16-17页
    2.2 磁控溅射技术第17-19页
        2.2.1 磁控溅射原理第18-19页
        2.2.2 磁控溅射所需的原材料及制备条件第19页
    2.3 薄膜的表征方法第19-23页
        2.3.1 X射线衍射仪(XRD)第19-20页
        2.3.2 冷场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)第20-21页
        2.3.3 光致发光光谱(PL)第21页
        2.3.4 物理性能测试系统(PPMS)第21-22页
        2.3.5 电流—电压(I-V)测试仪第22-23页
3 有序多孔CeO_2微观结构以及磁性的研究第23-32页
    3.1 引言第23-24页
    3.2 实验第24-25页
        3.2.1 不同工作压强条件下制备CeO_2薄膜第24-25页
        3.2.2 不同溅射时间条件下制备CeO_2薄膜第25页
    3.3 结果与讨论第25-31页
        3.3.1 SEM电镜测试第25-26页
        3.3.2 XRD测试第26-27页
        3.3.3 PPMS磁性测试第27-28页
        3.3.4 退火磁性和PL谱测试第28-30页
        3.3.5 CeO_2薄膜室温铁磁性的起因第30-31页
        3.3.6 机制解释第31页
    3.4 本章小结第31-32页
4 Ag/CeO_2/PAA/Al器件及电场对磁性的调控第32-36页
    4.1 引言第32页
    4.2 Ag/CeO_2/Al器件的制备及I-V测试第32-34页
    4.3 电场对CeO_2/PAA复合薄膜磁性的调控第34-35页
    4.4 本章小结第35-36页
5 总结与展望第36-38页
    5.1 结论第36页
    5.2 创新点第36-37页
    5.3 工作展望第37-38页
参考文献第38-45页
致谢第45-46页
攻读学位期间取得的科研成果清单第46页

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