| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.2 课题研究意义 | 第10-11页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.3.1 基于Lab VIEW的HFCVD涂层沉积设备控制系统研究 | 第11-13页 |
| 1.3.2 HFCVD法沉积金刚石涂层的温度场仿真研究 | 第13-14页 |
| 1.3.3 金刚石涂层特种复杂形状刀具制备与应用研究 | 第14-15页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第15-18页 |
| 第二章 基于LABVIEW的HFCVD涂层沉积设备控制系统 | 第18-48页 |
| 2.1 引言 | 第18-19页 |
| 2.2 自动化HFCVD沉积设备系统整体设计方案 | 第19-22页 |
| 2.2.1 当前沉积设备现状分析 | 第19页 |
| 2.2.2 控制参数 | 第19-20页 |
| 2.2.3 整体控制流程设计 | 第20-21页 |
| 2.2.4 数据采集系统 | 第21页 |
| 2.2.5 仪器控制系统 | 第21-22页 |
| 2.3 基于LABVIEW的HFCVD沉积控制系统详细设计方案 | 第22-47页 |
| 2.3.1 气体流量控制 | 第22-34页 |
| 2.3.2 温度与功率控制 | 第34-43页 |
| 2.3.3 气体压力与阀门控制 | 第43-46页 |
| 2.3.4 整体系统架构 | 第46-47页 |
| 2.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第三章 特种刀具涂层制备仿真模型建立及测温验证 | 第48-66页 |
| 3.1 引言 | 第48页 |
| 3.2 基于GAMBIT和FLUENT的特种刀具涂层沉积仿真模型建立 | 第48-51页 |
| 3.2.1 三维仿真模型建立 | 第48-49页 |
| 3.2.2 仿真模型简化 | 第49-50页 |
| 3.2.3 边界条件与材料参数 | 第50-51页 |
| 3.2.4 仿真计算流程 | 第51页 |
| 3.3 测温验证试验 | 第51-64页 |
| 3.3.1 HFCVD沉积装置测温方法概述 | 第51-53页 |
| 3.3.2 大批量微细刀具测温对比试验 | 第53-61页 |
| 3.3.3 单排长刃刀具测温对比试验 | 第61-64页 |
| 3.4 本章小结 | 第64-66页 |
| 第四章 批量化微细刀具 HFCVD 涂层制备温度场仿真与试验分析 | 第66-78页 |
| 4.1 引言 | 第66页 |
| 4.2 批量化微细刀具HFCVD涂层制备的温度场仿真研究 | 第66-71页 |
| 4.3 微细刀具HFCVD涂层制备试验与性能表征 | 第71-73页 |
| 4.3.1 微细刀具预处理工艺 | 第71页 |
| 4.3.2 沉积试验过程 | 第71-72页 |
| 4.3.3 性能表征结果分析 | 第72-73页 |
| 4.4 微细涂层刀具切削性能试验研究 | 第73-76页 |
| 4.4.1 实验方法 | 第73-74页 |
| 4.4.2 刀具磨损分析 | 第74-75页 |
| 4.4.3 切削力分析 | 第75-76页 |
| 4.4.4 钻孔质量分析 | 第76页 |
| 4.5 本章小结 | 第76-78页 |
| 第五章 批量化长刃刀具 HFCVD 涂层制备温度场仿真与试验分析 | 第78-100页 |
| 5.1 引言 | 第78-79页 |
| 5.2 批量化长刃刀具HFCVD涂层制备的温度场仿真研究 | 第79-87页 |
| 5.2.1 仿真参数设计 | 第79-80页 |
| 5.2.2 仿真结果分析 | 第80-87页 |
| 5.3 长刃刀具HFCVD涂层制备试验与性能表征 | 第87-91页 |
| 5.3.1 长刃刀具预处理工艺 | 第88页 |
| 5.3.2 沉积试验过程 | 第88-89页 |
| 5.3.3 性能表征结果分析 | 第89-91页 |
| 5.4 长刃涂层刀具切削性能试验研究 | 第91-98页 |
| 5.4.1 实验方法 | 第91-93页 |
| 5.4.2 刀具磨损分析 | 第93-96页 |
| 5.4.3 切削力分析 | 第96-97页 |
| 5.4.4 钻孔质量分析 | 第97-98页 |
| 5.5 本章小结 | 第98-100页 |
| 第六章 总结与展望 | 第100-104页 |
| 6.1 主要研究工作与结论 | 第100-102页 |
| 6.2 主要创新点 | 第102-103页 |
| 6.3 下一步研究工作 | 第103-104页 |
| 参考文献 | 第104-108页 |
| 致谢 | 第108-109页 |
| 攻读硕士学位期间公开发表的论文 | 第109-110页 |
| 攻读硕士期间获得奖励 | 第110-112页 |
