大行程高精密气浮工作台的关键技术研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 课题概述 | 第11页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第11页 |
| 1.1.2 课题提出及意义 | 第11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-17页 |
| 1.2.1 国外研究成果 | 第11-15页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第15-17页 |
| 1.2.3 目前主要存在的不足 | 第17页 |
| 1.3 本课题研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 气浮支撑的承载特性分析 | 第19-43页 |
| 2.1 概述 | 第19-20页 |
| 2.2 理论分析及数学建模 | 第20-23页 |
| 2.2.1 气浮静压轴承的工作原理 | 第20-21页 |
| 2.2.2 数学模型的建立 | 第21-23页 |
| 2.3 节流器类型及静特性分析 | 第23-27页 |
| 2.3.1 节流器类型 | 第23-25页 |
| 2.3.2 气浮垫结构 | 第25-27页 |
| 2.4 结构尺寸 | 第27-33页 |
| 2.4.1 不同节流孔个数气浮特性分析 | 第27-29页 |
| 2.4.2 不同节流孔直径气浮特性分析 | 第29-31页 |
| 2.4.3 不同供气压力条件下气浮特性分析 | 第31-33页 |
| 2.5 均压槽的设计 | 第33-36页 |
| 2.6 实验验证 | 第36-40页 |
| 2.6.1 实验原理及装置 | 第36-39页 |
| 2.6.2 实验方法 | 第39-40页 |
| 2.7 仿真计算与实验结果对比分析 | 第40-42页 |
| 2.7.1 承载力验证 | 第40-41页 |
| 2.7.2 耗气量验证 | 第41-42页 |
| 2.7.3 气浮垫和气浮平台实验对比 | 第42页 |
| 2.8 本章小结 | 第42-43页 |
| 第三章 直线电机的选择及速度曲线规划 | 第43-57页 |
| 3.1 引言 | 第43页 |
| 3.2 直线电机直接驱动方式简介 | 第43-44页 |
| 3.3 不同类型直线电机性能分析 | 第44-50页 |
| 3.3.1 直线电机的选型 | 第45-47页 |
| 3.3.2 S形速度曲线的提出 | 第47-50页 |
| 3.4 S型曲线的算法 | 第50-56页 |
| 3.4.1 S形曲线相关公式推导 | 第50-51页 |
| 3.4.2 S型曲线参数的确定 | 第51-54页 |
| 3.4.3 S行速度曲线的实时控制 | 第54-56页 |
| 3.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 气浮静压导轨的变形问题分析 | 第57-69页 |
| 4.1 引言 | 第57页 |
| 4.2 气浮静压导轨类型选择及结构设计 | 第57-61页 |
| 4.2.1 气浮静压导轨的类型 | 第57-58页 |
| 4.2.2 半开式自平衡导轨的工作原理及结构设计 | 第58-60页 |
| 4.2.3 导轨材料的确定 | 第60-61页 |
| 4.3 气浮工作台有限元分析 | 第61-67页 |
| 4.3.1 气浮垫的形变分析 | 第61-62页 |
| 4.3.2 气浮工作台的形变分析 | 第62-65页 |
| 4.3.3 气浮静压导轨模态分析 | 第65-67页 |
| 4.4 本章小结 | 第67-69页 |
| 第五章 气浮静压导轨的精度分析 | 第69-81页 |
| 5.1 引言 | 第69页 |
| 5.2 精度分析原理 | 第69-70页 |
| 5.2.1 精度的定义 | 第69-70页 |
| 5.2.2 机械设计过程中误差来源 | 第70页 |
| 5.3 气浮垫精度的研究 | 第70-74页 |
| 5.3.1 气浮刚度公式 | 第71-73页 |
| 5.3.2 气浮刚度误差推导 | 第73-74页 |
| 5.4 导轨副精度计算 | 第74-78页 |
| 5.4.1 误差的合成方法 | 第74-75页 |
| 5.4.2 导轨副误差的组成 | 第75-78页 |
| 5.5 本章小结 | 第78-81页 |
| 第六章 总结与展望 | 第81-83页 |
| 6.1 总结 | 第81页 |
| 6.2 展望 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-89页 |
| 附录 攻读硕士期间发表学术成果和参与的科研项目 | 第89页 |
| A. 发表的学术论文和专利 | 第89页 |
| B. 参与的科研项目 | 第89页 |
