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InAs/GaAs自组织量子点存储器件研究

目录第3-5页
图表目录第5-7页
符号表第7-9页
中文摘要第9-10页
ABSTRACT第10页
第一章 引言第11-28页
    第一节 量子点的主要性质、制备方法及应用第11-20页
        1.量子点的定义第11-12页
        2.量子点的性质第12-13页
        3.量子点的分类及其制备方法第13-17页
        4.量子点的应用第17-20页
    第二节 量子点存储器的结构及工作原理第20-26页
        1.基于pHEMT结构的量子点存储器第20-23页
        2.量子点存储器的工作原理第23-26页
    第三节 量子点存储器的选题动机第26-28页
第二章 InAS/GaAs量子点材料的制备设备及方法第28-45页
    第一节 实验方法与设备第28-31页
        1.分子束外延(MBE)系统第28-31页
        2.反射高能电子衍射仪(RHEED)第31页
    第二节 InAs/GaAs量子点存储器的结构与加工第31-41页
        1.InAs/GaAs量子点存储器的样品结构第31-35页
        2.InAs/GaAs量子点存储器的加工第35-41页
    第三节 测试内容与方法第41-45页
        1.AFM测试第41-42页
        2.FET与I-V测试第42-43页
        3.C-V测试第43-45页
第三章 量子点存储器的实验结果与讨论第45-56页
    第一节 FET与I-V特性测试第45-49页
    第二节 延滞回线测试第49-51页
    第三节 沟道电导实时测试第51-54页
    第四节 偏压降温C-V测试第54-56页
第四章 结论第56-57页
参考文献第57-63页
致谢第63-64页
已发表论文目录第64-65页
学位论文评阅及答辩情况表第65页

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