| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第8-13页 |
| 1.1.1 超声电机发展与研究现状 | 第8-10页 |
| 1.1.2 宏微驱动发展与研究现状 | 第10-12页 |
| 1.1.3 超声电机测试技术的发展现状 | 第12-13页 |
| 1.2 虚拟仪器简介 | 第13-15页 |
| 1.2.1 仪器发展历史 | 第13页 |
| 1.2.2 虚拟仪器的定义 | 第13-14页 |
| 1.2.3 虚拟仪器的组成部分 | 第14页 |
| 1.2.4 虚拟仪器种类 | 第14-15页 |
| 1.2.5 虚拟仪器应用 | 第15页 |
| 1.3 origin简介 | 第15-16页 |
| 1.4 本文研究内容 | 第16-17页 |
| 1.5 本章小结 | 第17-19页 |
| 2 系统整体方案设计 | 第19-25页 |
| 2.1 系统架构 | 第19页 |
| 2.2 系统软件设计 | 第19-20页 |
| 2.3 软件各子模块 | 第20-24页 |
| 2.3.1 数据采集模块 | 第20-21页 |
| 2.3.2 信号滤波模块 | 第21-22页 |
| 2.3.3 数值分析处理模块 | 第22-23页 |
| 2.3.4 波形的显示模块 | 第23-24页 |
| 2.4 本章小结 | 第24-25页 |
| 3 宏微检测系统的硬件组成 | 第25-33页 |
| 3.1 宏微检测系统组成 | 第25页 |
| 3.2 传感器 | 第25-29页 |
| 3.2.1 电压传感器 | 第26页 |
| 3.2.2 电流传感器 | 第26-27页 |
| 3.2.3 光栅尺 | 第27页 |
| 3.2.4 DWS型电容式微位移测量仪 | 第27-28页 |
| 3.2.5 激光测振仪 | 第28-29页 |
| 3.3 数据采集卡 | 第29-32页 |
| 3.3.1 数据采集卡的性能参数 | 第30-31页 |
| 3.3.2 数据采集卡的基本配置 | 第31-32页 |
| 3.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 4 宏微检测系统软件设计 | 第33-43页 |
| 4.1 宏微检测系统总体流程框图 | 第33-34页 |
| 4.2 系统界面设计 | 第34-35页 |
| 4.3 电压电流参数测量软件设计 | 第35-38页 |
| 4.4 激光测振仪数据转换及分析 | 第38-39页 |
| 4.5 DWS型电容式微位移数据转换及分析 | 第39-40页 |
| 4.6 数据处理及滤波 | 第40-41页 |
| 4.7 宏位移测量 | 第41-42页 |
| 4.8 本章小结 | 第42-43页 |
| 5 宏微检测系统运行结果 | 第43-61页 |
| 5.1 DWS型微位移测量仪“振幅-电压”标定结果 | 第43-45页 |
| 5.2 DWS型微位移测量仪测试结果 | 第45-52页 |
| 5.3 基于Labview的DWS型微位移检测系统检测结果 | 第52-55页 |
| 5.4 DWS电容式微位移测量系统误差分析 | 第55-56页 |
| 5.5 激光测振仪检测结果 | 第56-58页 |
| 5.6 激光测振仪与 DWS 微位移测量仪数据相关性分析 | 第58页 |
| 5.7 电压电流参数测量软件检测结果 | 第58-59页 |
| 5.8 宏位移检测结果 | 第59页 |
| 5.9 本章小结 | 第59-61页 |
| 6 结论与展望 | 第61-62页 |
| 6.1 结论 | 第61页 |
| 6.2 展望 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 附录 | 第66-68页 |
