高灵敏度蝶翼式微陀螺结构设计与加工工艺
| 摘要 | 第9-10页 |
| Abstract | 第10页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 论文研究背景与意义 | 第11-13页 |
| 1.2 国外研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3 国内研究现状 | 第16-19页 |
| 1.4 论文主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 蝶翼式微陀螺灵敏度分析与结构设计 | 第21-41页 |
| 2.1 蝶翼式微陀螺的总体结构 | 第21-22页 |
| 2.2 蝶翼式微陀螺的工作原理 | 第22-23页 |
| 2.3 六边形截面斜梁的力学分析 | 第23-31页 |
| 2.3.1 六边形截面斜梁的力学特性 | 第23-29页 |
| 2.3.2 工作模态 | 第29-31页 |
| 2.4 蝶翼式微陀螺的机械灵敏度 | 第31-34页 |
| 2.4.1 机械灵敏度 | 第31-32页 |
| 2.4.2 模态频差与灵敏度之间的关系 | 第32-34页 |
| 2.5 六边形截面斜梁的尺寸设计 | 第34-40页 |
| 2.5.1 预埋深度对模态频差的影响 | 第35-36页 |
| 2.5.2 斜梁宽度对模态频差的影响 | 第36-37页 |
| 2.5.3 相对宽度对模态频差的影响 | 第37-39页 |
| 2.5.4 斜梁尺寸的确定 | 第39-40页 |
| 2.6 本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 蝶翼式微陀螺样机关键加工工艺 | 第41-48页 |
| 3.1 全预埋掩膜加工工艺 | 第41-44页 |
| 3.1.1 全预埋掩膜工艺流程 | 第41-43页 |
| 3.1.2 实际腐蚀结果 | 第43-44页 |
| 3.2 蝶翼式微陀螺精密激光修形 | 第44-47页 |
| 3.2.1 模态耦合误差形成机理 | 第44-45页 |
| 3.2.2 激光修形方法 | 第45-46页 |
| 3.2.3 修形结果 | 第46-47页 |
| 3.3 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 不同误差对蝶翼式微陀螺模态频差的影响 | 第48-60页 |
| 4.1 误差的主要来源 | 第48-49页 |
| 4.2 不同误差对频差的影响 | 第49-59页 |
| 4.2.1 湿法腐蚀加工误差对频差的影响 | 第49-50页 |
| 4.2.2 硅片厚度误差对频差的影响 | 第50-53页 |
| 4.2.3 对准误差对频差的影响 | 第53-57页 |
| 4.2.4 环境温度变化对频差的影响 | 第57-59页 |
| 4.3 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 蝶翼式微陀螺的性能对比测试 | 第60-65页 |
| 5.1 主要性能对比测试 | 第60-64页 |
| 5.1.1 工作模态 | 第60-61页 |
| 5.1.2 标度因数 | 第61-63页 |
| 5.1.3 零偏稳定性 | 第63-64页 |
| 5.2 本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 6.1 全文总结 | 第65页 |
| 6.2 研究展望 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第73页 |
