蓝宝石衬底面形特征对退火工艺的影响研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 蓝宝石及应用 | 第10-12页 |
| 1.2.1 蓝宝石的材料属性和力学性能 | 第10-11页 |
| 1.2.2 蓝宝石的应用 | 第11-12页 |
| 1.3 蓝宝石衬底及其制造工艺 | 第12-17页 |
| 1.3.1 蓝宝石衬底的制备过程 | 第12-14页 |
| 1.3.2 蓝宝石衬底的面形精度 | 第14-17页 |
| 1.4 蓝宝石衬底退火简介 | 第17-18页 |
| 1.5 国内外研究现状 | 第18-20页 |
| 1.6 企业存在的问题 | 第20-21页 |
| 1.7 课题来源与研究内容 | 第21-23页 |
| 1.7.1 课题来源 | 第21页 |
| 1.7.2 研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 蓝宝石衬底片面形分析与应力计算 | 第23-33页 |
| 2.1 测量仪器 | 第23-24页 |
| 2.2 衬底面形特征的演变分析 | 第24-26页 |
| 2.3 应力计算方法 | 第26-29页 |
| 2.4 衬底片的应力分析 | 第29-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 蓝宝石衬底片退火过程的仿真 | 第33-45页 |
| 3.1 前处理 | 第33-35页 |
| 3.1.1 确定单元类型 | 第33-34页 |
| 3.1.2 热物性参数处理 | 第34-35页 |
| 3.1.3 网格的划分 | 第35页 |
| 3.2 加载求解 | 第35-36页 |
| 3.3 结果分析 | 第36-43页 |
| 3.3.1 应力与温度场分析 | 第36-40页 |
| 3.3.2 变形分析 | 第40-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-45页 |
| 第4章 蓝宝石衬底片退火试验研究 | 第45-51页 |
| 4.1 试验条件 | 第45-47页 |
| 4.2 试验结果分析 | 第47-49页 |
| 4.3 本章小结 | 第49-51页 |
| 第5章 研磨衬底片的退火工艺研究 | 第51-59页 |
| 5.1 试验条件 | 第51-52页 |
| 5.2 不同保温时间退火试验结果及分析 | 第52-55页 |
| 5.3 不同最高温度退火试验结果及分析 | 第55-58页 |
| 5.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第6章 抛光衬底片的退火工艺研究 | 第59-65页 |
| 6.1 试验条件 | 第59-60页 |
| 6.2 不同保温时间退火试验结果及分析 | 第60-62页 |
| 6.3 不同最高温度退火试验结果及分析 | 第62-64页 |
| 6.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第7章 结论与展望 | 第65-67页 |
| 7.1 结论 | 第65页 |
| 7.2 展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第73页 |
