| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第12-18页 |
| 1.1 自动化无损检测技术 | 第12-13页 |
| 1.1.1 自动化无损检测技术的定义 | 第12页 |
| 1.1.2 自动化无损检测技术的方法 | 第12-13页 |
| 1.1.3 精密表面缺陷自动化检测系统的提出 | 第13页 |
| 1.2 精密光学表面缺陷检测的研究意义 | 第13-14页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3.1 表面缺陷检测方法的研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3.2 表面缺陷检测发展方向 | 第15-16页 |
| 1.4 本论文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 2 精密元件表面缺陷检测系统简介 | 第18-30页 |
| 2.1 各种散射原理 | 第18-19页 |
| 2.1.1 几何光学方法 | 第18页 |
| 2.1.2 标量散射理论 | 第18-19页 |
| 2.1.3 矢量散射理论 | 第19页 |
| 2.1.4 Mie散射理论 | 第19页 |
| 2.2 缺陷检测原理 | 第19-22页 |
| 2.3 系统整体介绍及各组件分析 | 第22-28页 |
| 2.3.1 照明光学系统 | 第23-25页 |
| 2.3.2 显微成像系统 | 第25-26页 |
| 2.3.3 精密移导与夹持系统 | 第26-27页 |
| 2.3.4 数字图像处理系统 | 第27-28页 |
| 2.4 系统自动化改进的可能 | 第28-30页 |
| 3 元件表面自动调平系统 | 第30-49页 |
| 3.1 元件表面调平的需求与意义 | 第30-31页 |
| 3.2 缺陷检测系统手动调平方案 | 第31-33页 |
| 3.3 自动调平的原理及优势 | 第33-34页 |
| 3.4 空间模型的建立及原理实现 | 第34-42页 |
| 3.4.1 自动对焦技术介绍 | 第34-35页 |
| 3.4.2 清晰度评价函数分析 | 第35-39页 |
| 3.4.3 表面自动调平系统空间模型 | 第39-42页 |
| 3.5 自动调平系统误差分析 | 第42-46页 |
| 3.5.1 自动对焦测量中误差分析 | 第42-44页 |
| 3.5.2 调平后自动对焦的误差分析 | 第44-45页 |
| 3.5.3 高精度超洁净光学元件采样点的寻找算法 | 第45-46页 |
| 3.6 自动调平系统的实现 | 第46-49页 |
| 3.6.1 自动调平装置介绍 | 第46-47页 |
| 3.6.2 自动调平软件设计 | 第47-49页 |
| 4 大幅面CCD双通道灰度差异自动调整 | 第49-59页 |
| 4.1 工业大幅面CCD相机特点以及国内外使用情况 | 第50-51页 |
| 4.1.1 CCD工业相机国内外发展现状 | 第50-51页 |
| 4.2 大幅面工业相机双通道灰度问题 | 第51-52页 |
| 4.3 常见灰度调整的方法 | 第52-55页 |
| 4.3.1 CCD增益差异的硬件调节 | 第53-55页 |
| 4.3.2 CCD增益差异的软件调节 | 第55页 |
| 4.4 CCD子通道增益差异的自动调节模型、原理及方法 | 第55-59页 |
| 4.4.1 暗场成像图像的特点 | 第55-56页 |
| 4.4.2 自适应背景阈值 | 第56-57页 |
| 4.4.3 横向补偿 | 第57-59页 |
| 5 图像背景灰度不均匀问题校正 | 第59-67页 |
| 5.1 图像背景灰度不均匀及光源重影 | 第59-60页 |
| 5.2 非均匀光照图像校正研究现状 | 第60-62页 |
| 5.3 缺陷检测系统中非均匀光照图像特点分析 | 第62-65页 |
| 5.4 图像背景灰度不均匀问题的校正算法与实验结果 | 第65-67页 |
| 6 实验结果与分析 | 第67-76页 |
| 6.1 自动调平实验结果分析 | 第67-70页 |
| 6.1.1 钕玻璃自动调平 | 第67-68页 |
| 6.1.2 熔石英分光板自动调平 | 第68-69页 |
| 6.1.3 熔石英标准板自动调平 | 第69-70页 |
| 6.2 CCD双通道图像灰度调节结果及分析 | 第70-72页 |
| 6.2.1 灰度调节实验结果 | 第70-72页 |
| 6.2.2 灰度调整结果分析 | 第72页 |
| 6.3 非均匀光照图像校正结果分析 | 第72-75页 |
| 6.3.1 非均匀光照校正实验结果 | 第72-74页 |
| 6.3.2 非均匀光照校正结果分析 | 第74-75页 |
| 6.4 实验总结 | 第75-76页 |
| 7 总结及展望 | 第76-79页 |
| 7.1 论文工作的总结 | 第76-77页 |
| 7.2 未来工作的展望 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-84页 |
| 作者简历及主要研究成果 | 第84页 |
