MEMS角振动陀螺的结构建模与仿真分析
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 论文的研究背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究概述 | 第10-14页 |
| 1.3 论文主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第二章 角振动陀螺设计基础 | 第15-29页 |
| 2.1 科氏效应 | 第15-16页 |
| 2.2 工作原理 | 第16-19页 |
| 2.2.1 驱动力矩 | 第17-19页 |
| 2.2.2 科氏力矩 | 第19页 |
| 2.3 角振动陀螺动力学分析 | 第19-22页 |
| 2.4 阻尼分析 | 第22-28页 |
| 2.4.1 气体阻尼流场模型 | 第22-24页 |
| 2.4.2 滑膜阻尼 | 第24-26页 |
| 2.4.3 压膜阻尼 | 第26-27页 |
| 2.4.4 热弹性阻尼 | 第27-28页 |
| 2.5 小结 | 第28-29页 |
| 第三章 角振动陀螺的结构设计与仿真 | 第29-44页 |
| 3.1 角振动陀螺的整体设计方案 | 第29-31页 |
| 3.2 有限元简介 | 第31-32页 |
| 3.3 模态仿真分析 | 第32-34页 |
| 3.4 阻尼分析 | 第34-42页 |
| 3.4.1 热弹性阻尼仿真分析 | 第34-37页 |
| 3.4.2 滑膜阻尼分析 | 第37-39页 |
| 3.4.3 压膜阻尼分析 | 第39-41页 |
| 3.4.4 Q值的实验对比 | 第41-42页 |
| 3.5 驱动幅度与灵敏度分析 | 第42-43页 |
| 3.6 小结 | 第43-44页 |
| 第四章 角振动陀螺过载分析 | 第44-52页 |
| 4.1 冲击动力学基础 | 第44-46页 |
| 4.2 冲击过载的静力等效 | 第46-48页 |
| 4.3 硅材料的强度 | 第48-49页 |
| 4.4 过载静力学仿真 | 第49-50页 |
| 4.5 抗过载实验验证 | 第50-51页 |
| 4.6 小结 | 第51-52页 |
| 第五章 角振动陀螺零偏温度特性分析 | 第52-61页 |
| 5.1 层合模型 | 第52-55页 |
| 5.2 键合误差对零偏温度特性的影响 | 第55-59页 |
| 5.3 零偏温度特性的改善 | 第59-60页 |
| 5.4 小结 | 第60-61页 |
| 第六章 总结与展望 | 第61-62页 |
| 6.1 总结 | 第61页 |
| 6.2 展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 发表论文、专利情况 | 第65-66页 |
| 附录 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
