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多晶焊点在电迁移及热循环下的微观组织演变

摘要第4-5页
ABSTRACT第5-6页
第1章 绪论第9-23页
    1.1 课题研究的背景和意义第9-10页
    1.2 电迁移现象的物理机制第10-12页
    1.3 焊点互连的电迁移研究现状第12-18页
        1.3.1 电迁移问题描述第12-13页
        1.3.2 焊点电迁移的影响因素第13-16页
        1.3.3 焊点电迁移的寿命分析第16-17页
        1.3.4 焊点电迁移的抑制第17-18页
    1.4 互连焊点的可靠性第18-22页
        1.4.1 等温时效下的焊点可靠性第18-20页
        1.4.2 热循环下焊点可靠性第20-22页
    1.5 本文研究的主要内容第22-23页
第2章 实验器材与方法第23-30页
    2.1 实验材料第23页
    2.2 实验设备第23-24页
    2.3 试样制备第24-28页
        2.3.1 焊盘及电路的设计第24-25页
        2.3.2 SMT钢网的设计第25页
        2.3.3 试样的焊接方法第25-26页
        2.3.4 回流焊参数的制定第26-27页
        2.3.5 表征试样的准备第27-28页
    2.4 电迁移实验方法第28页
    2.5 热循环实验方法第28-29页
    2.6 本章小结第29-30页
第3章 多晶焊点的电迁移第30-49页
    3.1 引言第30页
    3.2 多晶焊点中的电流密度分布及影响第30-33页
    3.3 焊点中晶体取向对电迁移的影响第33-36页
    3.4 多晶焊点的电迁移性能第36-43页
        3.4.1 多晶焊点在电迁移中的极性效应第36-39页
        3.4.2 多晶焊点在电迁移中的IMC演变原位对比第39-43页
    3.5 多晶焊点的晶粒特征第43-47页
    3.6 本章小结第47-49页
第4章 多晶焊点的热循环第49-63页
    4.1 引言第49-50页
    4.2 焊点在热循环中的再结晶现象第50-54页
    4.3 多晶焊点的热循环性能第54-60页
        4.3.1 多晶焊点在热循环中的IMC演变第54-58页
        4.3.2 多晶焊点热循环断裂分析第58-60页
    4.4 多晶焊点剪切测试与断面形貌第60-62页
    4.5 本章小结第62-63页
结论第63-64页
参考文献第64-71页
致谢第71页

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