基于智能窗的二氧化钒薄膜制备与性能研究

摘要	第4-5页
Abstract	第5-6页
1 绪论	第9-17页
1.1 二氧化钒的基本性质与应用领域	第9-13页
1.2 基于智能窗的VO_2薄膜研究进展	第13-15页
1.3 本论文主要研究内容	第15-17页
2 二氧化钒薄膜的制备与掺杂	第17-23页
2.1 二氧化钒薄膜的制备方法	第17-19页
2.2 二氧化钒的掺杂对其影响	第19-23页
3 磁控溅射法制备VO_2薄膜的实验研究	第23-38页
3.1 直流磁控溅射法制备VO_2薄膜	第23-24页
3.2 实验材料和设备	第24-26页
3.3 实验步骤	第26-28页
3.4 实验环境与数据	第28-32页
3.5 二氧化钒薄膜的性能表征	第32-37页
3.6 本章小结	第37-38页
4 二氧化钒薄膜的掺杂研究	第38-45页
4.1 二氧化钒薄膜制备的掺杂方法	第38-39页
4.2 各离子掺杂对VO_2薄膜相变温度的影响	第39-40页
4.3 掺钨VO_2薄膜的制备与性能	第40-43页
4.4 本章小结	第43-45页
5 总结与展望	第45-47页
5.1 总结	第45-46页
5.2 展望	第46-47页
致谢	第47-48页
参考文献	第48-53页