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高应变InGaAs多量子阱材料外延及发光特性

摘要第4-5页
ABSTRACT第5页
第一章 绪论第8-13页
    1.1 半导体激光器发展第8-9页
    1.2 高应变量子阱激光器材料的研究进展第9-10页
    1.3 高应变半导体激光器的应用第10-12页
    1.4 研究内容第12-13页
第二章 理论部分第13-22页
    2.1 量子阱激光器应变的引入第13页
    2.2 应变对量子阱的能带结构的影响第13-15页
    2.3 应变对材料性能的影响第15-16页
    2.4 高应变量子阱激光器的增益特性第16页
    2.5 高应变量子阱激光器的阈值特性第16-18页
    2.6 高应变量子阱激光器的输出特性第18-22页
        2.6.1 量子阱激光器的输出功率第18-20页
        2.6.2 量子阱激光器的光谱线宽第20页
        2.6.3 量子阱激光器的光斑特性第20-22页
第三章 高应变InGaAs多量子阱激光器模拟设计第22-42页
    3.1 Crosslight软件介绍第22页
    3.2 LASTIP模拟步骤第22-27页
    3.3 有源层量子阱设计第27-29页
        3.3.1 阱数的确定第27页
        3.3.2 In组分、阱宽和势垒的设计第27-29页
    3.4 双模式扩展层的设计第29-36页
        3.4.1 双模式扩展层理论第30-31页
        3.4.2 双模式扩展结构设计第31-32页
        3.4.3 模式扩展层厚度对激光器的影响第32-34页
        3.4.4 模式扩展层AL组分对激光器的影响第34-36页
    3.5 应变对InGaAs多量子阱激光器的影响第36-38页
    3.6 双模式扩展层激光器的性能第38-42页
        3.6.1 激光器的内量子效率和内损耗第38-40页
        3.6.2 激光器的特征温度第40-42页
第四章 MOCVD外延技术以及PL谱测试技术第42-53页
    4.1 MOCVD简介第42-43页
    4.2 MOCVD外延原理第43-44页
    4.3 MOCVD设备组成第44-47页
    4.4 PL测试技术第47-48页
    4.5 样品生长及测试第48-53页
        4.5.1Ⅴ/Ⅲ束流比对材料生长质量的影响第48-49页
        4.5.2 生长速率对材料生长质量的影响第49-50页
        4.5.3 衬底偏向角对材料生长质量的影响第50-53页
第五章 总结第53-54页
致谢第54-55页
参考文献第55-58页
攻读硕士学位期间发表论文情况第58页

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