纳米放电加工放电通道模拟
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·课题研究背景 | 第9-15页 |
| ·放电加工原理及技术发展现状 | 第9-10页 |
| ·放电通道研究现状 | 第10-11页 |
| ·单脉冲放电研究方法 | 第11-12页 |
| ·纳米放电加工技术研究现状 | 第12-14页 |
| ·纳米放电加工研究的主要课题和关键技术 | 第14-15页 |
| ·课题来源及研究目的和意义 | 第15-16页 |
| ·课题主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 放电通道模拟相关理论与算法 | 第17-30页 |
| ·放电通道形成机理 | 第17-18页 |
| ·等离子体粒子模拟方法 | 第18-28页 |
| ·粒子模拟方法的基本循环 | 第19-20页 |
| ·超粒子与有限大小粒子模型 | 第20-21页 |
| ·粒子模拟模式的选择 | 第21页 |
| ·粒子模拟的关键算法 | 第21-28页 |
| ·蒙特卡罗碰撞模型 | 第28页 |
| ·二次电子发射模型 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 放电通道模拟结果与分析 | 第30-47页 |
| ·模拟工具简介及程序基本设定 | 第30-32页 |
| ·OOPIC 软件简介 | 第30-31页 |
| ·模拟程序的基本设定 | 第31-32页 |
| ·放电通道简易模型微纳尺度对比 | 第32-43页 |
| ·微米级放电通道模拟分析 | 第32-41页 |
| ·纳米级放电通道模拟分析 | 第41-43页 |
| ·纳米尺度放电通道模型改进 | 第43-46页 |
| ·纳米级模型的修改 | 第43页 |
| ·新模型纳米放电通道模拟结果与分析 | 第43-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 纳米级放电通道模拟数值实验 | 第47-59页 |
| ·气体最佳击穿气压存在性验证 | 第47-51页 |
| ·气体最佳击穿气压理论 | 第47页 |
| ·气体最佳击穿气压模拟实验 | 第47-51页 |
| ·基于STM 的纳米放电加工实验验证 | 第51-58页 |
| ·模型的调试 | 第51-54页 |
| ·极间电压对电离效果的影响 | 第54-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-62页 |
| ·主要结论 | 第59-60页 |
| ·研究展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第67-69页 |
