| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 论文的主要创新与贡献 | 第9-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-32页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 研究背景及意义 | 第13-16页 |
| 1.3 TCO薄膜特性及研究现状 | 第16-24页 |
| 1.3.1 TCO薄膜基本特性 | 第16-19页 |
| 1.3.2 TCO薄膜研究现状 | 第19-24页 |
| 1.3.3 TCO薄膜电极研究中存在的问题 | 第24页 |
| 1.4 Al_2O_3薄膜特性及研究现状 | 第24-27页 |
| 1.4.1 Al_2O_3薄膜基本特性 | 第24页 |
| 1.4.2 Al_2O_3薄膜研究现状 | 第24-26页 |
| 1.4.3 Al_2O_3薄膜介质层研究中存在的问题 | 第26-27页 |
| 1.5 金半接触理论 | 第27-29页 |
| 1.6 本文研究内容 | 第29-32页 |
| 第2章 实验与研究方法 | 第32-42页 |
| 2.1 TCO薄膜制备 | 第32-39页 |
| 2.1.1 镀膜设备 | 第32-33页 |
| 2.1.2 基底及预处理 | 第33页 |
| 2.1.3 TCO薄膜的制备工艺 | 第33-34页 |
| 2.1.4 快速接触退火工艺 | 第34-35页 |
| 2.1.5 TCO薄膜的表征及性能测试 | 第35-39页 |
| 2.2 Al_2O_3薄膜制备 | 第39-42页 |
| 2.2.1 镀膜设备 | 第39页 |
| 2.2.2 衬底信息及准备 | 第39-40页 |
| 2.2.3 Al_2O_3薄膜的制备工艺 | 第40页 |
| 2.2.4 Al_2O_3薄膜退火工艺 | 第40页 |
| 2.2.5 Al_2O_3薄膜的表征及性能测试 | 第40-42页 |
| 第3章 TCO薄膜与InP，GaAs基底的接触理论分析 | 第42-48页 |
| 3.1 引言 | 第42页 |
| 3.2 InP和GaAs基底与TCO薄膜的功函数匹配情况 | 第42-45页 |
| 3.3 InP和GaAs基底的电子传输机制分析 | 第45-47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 离子束辅助沉积In_2O_3薄膜研究 | 第48-74页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 In_2O_3薄膜的微观结构 | 第48-49页 |
| 4.3 In_2O_3薄膜的电学和光学性能 | 第49-53页 |
| 4.4 In_2O_3薄膜与n-InP基底的界面电接触特性 | 第53-68页 |
| 4.4.1 基底不同等离子体预处理对界面接触特性的影响 | 第54-59页 |
| 4.4.2 不同O_2流量对界面接触特性的影响 | 第59-63页 |
| 4.4.3 快速退火温度对界面接触特性的影响 | 第63-68页 |
| 4.5 In_2O_3薄膜与p-InP基底的界面电接触特性 | 第68-73页 |
| 4.5.1 基底不同等离子体预处理对界面接触特性的影响 | 第68-70页 |
| 4.5.2 不同O_2流量对界面接触特性的影响 | 第70-71页 |
| 4.5.3 快速退火温度对界面接触特性的影响 | 第71-73页 |
| 4.6 本章小结 | 第73-74页 |
| 第5章 离子束辅助沉积ZnO-In_2O_3-SnO_2薄膜研究 | 第74-100页 |
| 5.1 引言 | 第74页 |
| 5.2 ZITO薄膜的微观结构 | 第74-76页 |
| 5.3 ZITO薄膜的电学和光学性能 | 第76-79页 |
| 5.4 ZITO薄膜与n-InP基底的界面电接触特性 | 第79-91页 |
| 5.4.1 基底不同等离子体预处理对界面接触特性的影响 | 第79-84页 |
| 5.4.2 不同O_2流量对界面接触特性的影响 | 第84-86页 |
| 5.4.3 快速退火温度对界面接触特性的影响 | 第86-91页 |
| 5.5 ZITO薄膜与p-GaAs基底的界面电接触特性 | 第91-98页 |
| 5.5.1 基底不同等离子体预处理对界面接触特性的影响 | 第92-95页 |
| 5.5.2 不同O_2流量对界面接触特性的影响 | 第95-96页 |
| 5.5.3 快速退火温度对界面接触特性的影响 | 第96-98页 |
| 5.6 本章小结 | 第98-100页 |
| 第6章 射频磁控溅射Al_2O_3薄膜介质层 | 第100-110页 |
| 6.1 引言 | 第100页 |
| 6.2 Al_2O_3薄膜的晶相结构 | 第100-101页 |
| 6.3 Al_2O_3薄膜的成分及形貌分析 | 第101-105页 |
| 6.4 Al_2O_3薄膜的光学性能 | 第105-106页 |
| 6.5 Al_2O_3薄膜的电学性能 | 第106-109页 |
| 6.6 本章小结 | 第109-110页 |
| 结论 | 第110-112页 |
| 参考文献 | 第112-128页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第128-130页 |
| 致谢 | 第130-131页 |
