对电极式柔性压力传感器制备及器件结构优化研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-32页 |
| 1.1 柔性压力传感器的应用背景和意义 | 第10-17页 |
| 1.2 柔性传感器原理分类和国内外研究进展 | 第17-27页 |
| 1.2.1 应力规式柔性传感器 | 第17-19页 |
| 1.2.2 压电式柔性压力传感器 | 第19-20页 |
| 1.2.3 光学式柔性压力传感器 | 第20页 |
| 1.2.4 电容式柔性压力传感器 | 第20-21页 |
| 1.2.5 FET式柔性压力传感器 | 第21-23页 |
| 1.2.6 电阻式柔性压力传感器 | 第23-27页 |
| 1.3 柔性压力传感器的器件结构 | 第27-30页 |
| 1.3.1 空气槽结构 | 第27页 |
| 1.3.2 突起结构 | 第27-28页 |
| 1.3.3 微纳结构 | 第28-30页 |
| 1.4 本论文的结构安排及主要研究内容 | 第30-32页 |
| 第二章 CNT薄膜的制备 | 第32-45页 |
| 2.1 碳纳米管特性及主要制备工艺 | 第32-34页 |
| 2.2 抽滤法制备碳纳米管薄膜 | 第34-37页 |
| 2.2.1 CNT粉末分散液制备 | 第34-35页 |
| 2.2.2 CNT薄膜抽滤制备 | 第35-37页 |
| 2.3 CNT薄膜表征 | 第37-44页 |
| 2.3.1 CNT薄膜的光学分析 | 第37-38页 |
| 2.3.2 CNT薄膜的SEM分析 | 第38页 |
| 2.3.3 CNT薄膜的薄膜方阻分析 | 第38-41页 |
| 2.3.4 CNT薄膜的拉曼光谱分析 | 第41-44页 |
| 2.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第三章 PDMS/CNT复合薄膜制备 | 第45-50页 |
| 3.1 PDMS薄膜运用背景 | 第45页 |
| 3.2 PDMS/CNT薄膜的制备工艺 | 第45-47页 |
| 3.3 PDMS/CNT复合薄膜的表征 | 第47-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 柔性压力传感器组装及测试 | 第50-63页 |
| 4.1 柔性压力传感器结构及组装 | 第50-51页 |
| 4.2 柔性压力传感器主要参数及测试 | 第51-62页 |
| 4.2.1 主要测试指标 | 第51-52页 |
| 4.2.2 测试平台 | 第52-53页 |
| 4.2.3 固定压强测试 | 第53-55页 |
| 4.2.4 压强响应曲线测试 | 第55-58页 |
| 4.2.5 稳定性测试 | 第58-61页 |
| 4.2.6 运用测试 | 第61-62页 |
| 4.3 本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 空气槽柔性压力传感器的理论仿真 | 第63-68页 |
| 5.1 力学理论模型以及仿真公式推导 | 第63-67页 |
| 5.2 本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第68-70页 |
| 6.1 全文总结 | 第68页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第75-76页 |
