硅基太阳能电池表面减反射结构的制备与表征
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-25页 |
| ·研究背景 | 第10-11页 |
| ·太阳能电池的研究现状 | 第11-14页 |
| ·太阳能 | 第11页 |
| ·太阳光谱 | 第11-12页 |
| ·光伏发电历史及现状 | 第12-13页 |
| ·太阳能电池的种类 | 第13-14页 |
| ·太阳能电池的基本原理 | 第14-16页 |
| ·硅及其基本性质 | 第14-15页 |
| ·硅太阳能电池的原理 | 第15-16页 |
| ·太阳能电池的减反射层 | 第16-24页 |
| ·太阳能电池效率的损失 | 第16-19页 |
| ·湿法碱性刻蚀 | 第19-20页 |
| ·湿法酸性刻蚀 | 第20-24页 |
| ·主要研究内容 | 第24-25页 |
| 第2章 实验材料与方法 | 第25-31页 |
| ·制备工艺技术与理论依据 | 第25-27页 |
| ·表面减反射结构的现有制备工艺 | 第25-26页 |
| ·硅表面微结构减反射特性的理论依据 | 第26-27页 |
| ·实验方法 | 第27-29页 |
| ·硅片的切割和预处理 | 第27页 |
| ·纳米银粒子的制备 | 第27-28页 |
| ·离子溅射沉积纳米银粒子后辅助硅酸刻蚀 | 第28页 |
| ·银镜反应沉积纳米银粒子后辅助硅酸刻蚀 | 第28-29页 |
| ·单步法刻蚀 | 第29页 |
| ·实验试剂仪器设备 | 第29-31页 |
| ·实验试剂 | 第29-30页 |
| ·实验仪器设备 | 第30-31页 |
| 第3章 离子溅射沉积纳米银粒子及其辅助酸刻蚀 | 第31-40页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·纳米银粒子的表面形貌 | 第31-32页 |
| ·多孔硅的制备 | 第32-34页 |
| ·多孔金字塔结构的制备 | 第34-37页 |
| ·硅的碱刻蚀 | 第34-35页 |
| ·金字塔结构上的酸刻蚀 | 第35-37页 |
| ·硅表面微结构的减反射效果 | 第37-39页 |
| ·多孔结构的减反射效果分析 | 第37-38页 |
| ·多孔金字塔结构的减反射效果分析 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 银镜反应沉积银粒子及其辅助酸刻蚀 | 第40-52页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·银镜反应制备纳米银粒子 | 第40-45页 |
| ·单分散纳米银粒子的制备 | 第40-43页 |
| ·疏松状纳米银镀层的制备 | 第43-44页 |
| ·硅表面纳米银粒子的表面成分分析 | 第44-45页 |
| ·酸刻蚀后硅的形貌结构 | 第45-49页 |
| ·硅表面多孔结构的制备 | 第45-47页 |
| ·硅纳米簇结构的制备 | 第47-49页 |
| ·刻蚀后硅的减反射性能 | 第49-51页 |
| ·多孔硅的减反射性能 | 第49-50页 |
| ·硅纳米簇的减反射性能 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 单步法酸刻蚀制备硅表面微结构 | 第52-64页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·刻蚀硅的表面结构 | 第52-59页 |
| ·反应初始阶段硅的表面形貌 | 第53-54页 |
| ·短时间刻蚀后硅的形貌 | 第54-56页 |
| ·长时间刻蚀后硅的形貌 | 第56-57页 |
| ·孔径及孔深随刻蚀时间的变化 | 第57-58页 |
| ·硅纳米线的形貌特征 | 第58-59页 |
| ·刻蚀后硅的减反射效果分析 | 第59-61页 |
| ·多孔硅的减反射效果 | 第59-61页 |
| ·硅纳米线的减反射效果 | 第61页 |
| ·多孔硅的吸收光谱 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第6章 微结构的形成机制及纳米银粒子的增透机理 | 第64-69页 |
| ·引言 | 第64页 |
| ·贵金属辅助化学刻蚀的机理分析 | 第64-65页 |
| ·硅表面微结构的形成机制 | 第65-67页 |
| ·纳米银粒子的异常增透机理 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
