飞秒激光诱导晶体材料偏振依赖性烧蚀特性研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-32页 |
| ·课题背景 | 第12-19页 |
| ·飞秒激光的发展及应用 | 第12-17页 |
| ·飞秒激光与材料相互作用机理 | 第17-19页 |
| ·激光参数对材料加工的影响 | 第19-24页 |
| ·激光偏振与材料晶向对激光加工的影响 | 第24-30页 |
| ·激光偏振研究的进展 | 第24-27页 |
| ·激光诱导的材料晶向依赖性加工 | 第27-30页 |
| ·本课题的研究内容 | 第30-32页 |
| ·研究内容 | 第30-31页 |
| ·文章简介 | 第31-32页 |
| 第二章 飞秒激光加工系统及实验设计 | 第32-40页 |
| ·飞秒激光加工实验光路 | 第32-35页 |
| ·飞秒激光光源系统 | 第32-33页 |
| ·成像系统 | 第33-34页 |
| ·聚焦及加工系统 | 第34-35页 |
| ·运动控制系统 | 第35页 |
| ·偏振依赖性烧蚀实验设计 | 第35-38页 |
| ·偏振依赖性烧蚀光路实验设计 | 第35-36页 |
| ·偏振依赖性烧蚀的材料选择 | 第36-38页 |
| ·烧蚀形貌的表征 | 第38页 |
| ·偏振依赖性烧蚀实验条件及相关说明 | 第38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第三章 飞秒激光诱导晶体材料的偏振依赖性烧蚀现象 | 第40-50页 |
| ·硒化锌材料的偏振依赖性烧蚀 | 第40-42页 |
| ·激光通量对偏振依赖性烧蚀现象的影响 | 第42-44页 |
| ·激光通量对偏振依赖性烧蚀振荡周期的影响 | 第42-43页 |
| ·激光通量对偏振依赖性烧蚀振荡振幅的影响 | 第43-44页 |
| ·普遍存在的偏振依赖性烧蚀现象 | 第44-46页 |
| ·材料禁带宽度对偏振依赖性烧蚀的影响 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 偏振依赖性烧蚀的理论解释 | 第50-68页 |
| ·材料烧蚀的普遍机理 | 第50-57页 |
| ·自由电子产生过程 | 第50-51页 |
| ·光电离 | 第51-54页 |
| ·碰撞电离 | 第54-56页 |
| ·自由电子的复合过程 | 第56-57页 |
| ·偏振依赖性烧蚀理论解释的提出及验证 | 第57-60页 |
| ·理论解释的提出 | 第57-58页 |
| ·理论解释的验证 | 第58-60页 |
| ·偏振依赖性烧蚀机理的解释 | 第60-67页 |
| ·约化电子质量及其各向异性 | 第61-63页 |
| ·约化电子与材料电离过程的关系 | 第63-65页 |
| ·激光通量与偏振依赖性烧蚀的关系 | 第65-66页 |
| ·禁带宽度对偏振依赖性烧蚀的关系 | 第66-67页 |
| ·偏振依赖性烧蚀的振荡周期 | 第67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 偏振依赖性烧蚀中特殊结构及其解释 | 第68-78页 |
| ·硒化锌材料上激光诱导周期性表面结构 | 第68-71页 |
| ·氟化锂材料上特殊结构 | 第71-72页 |
| ·偏振依赖性烧蚀中特殊结构的解释 | 第72-77页 |
| ·硒化锌上 LIPSS 传统理论解释及解释的提出 | 第72-73页 |
| ·二次谐波诱导 LIPSS 与自由电子密度的关系 | 第73-76页 |
| ·硒化锌材料上特殊结构的解释 | 第76-77页 |
| ·氟化锂材料上特殊结构的解释 | 第77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 结论 | 第78-81页 |
| 参考文献 | 第81-90页 |
| 攻读学位期间发表的论文与研究成果清单 | 第90-92页 |
| 致谢 | 第92页 |
