| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 前言 | 第10-12页 |
| ·本课题研究背景、意义 | 第10-11页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第11-12页 |
| 第2章 文献综述 | 第12-28页 |
| ·多晶硅的产品分类及用途 | 第12页 |
| ·多晶硅的产品分类 | 第12页 |
| ·多晶硅的用途 | 第12页 |
| ·国内外多晶硅的生产方法 | 第12-18页 |
| ·改良西门子法 | 第13-14页 |
| ·硅烷热分解法 | 第14-15页 |
| ·流化床法 | 第15-16页 |
| ·冶金法 | 第16页 |
| ·锌还原法 | 第16页 |
| ·气液沉积法 | 第16页 |
| ·其他方法 | 第16-18页 |
| ·多晶硅生产技术的改进 | 第18-24页 |
| ·高纯三氯氢硅精制技术改造 | 第18-21页 |
| ·高纯硅烷精制技术的设计优化 | 第21-22页 |
| ·还原尾气回收分离部分改造 | 第22-24页 |
| ·化工过程模拟 | 第24-26页 |
| ·化工模拟软件Aspen Plus简介 | 第24-25页 |
| ·流程模拟软件计算步骤及模型简介 | 第25页 |
| ·DSTWU模块和Radfrac模块简介 | 第25-26页 |
| ·小结 | 第26-28页 |
| 第3章 物性计算方法的选择 | 第28-44页 |
| ·热力学方法简介 | 第28-32页 |
| ·状态方程法 | 第29-30页 |
| ·活度系数法 | 第30-32页 |
| ·热力学模型的选择 | 第32-36页 |
| ·气体摩尔热容 | 第36页 |
| ·液体摩尔热容 | 第36-40页 |
| ·密度计算值与采用ASPEN软件中不同热力学模型模拟值的比较 | 第40-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 第四章 多晶硅尾气回收精馏流程和三氯氢硅精馏流程模拟研究 | 第44-58页 |
| ·前言 | 第44-47页 |
| ·严格法计算多元精馏概述 | 第44-46页 |
| ·塔结构参数的设定 | 第46页 |
| ·各单元工艺流程图 | 第46-47页 |
| ·还原尾气分离工序模拟过程 | 第47-50页 |
| ·分离要求(质量分率) | 第47-48页 |
| ·工艺简介及模拟流程构建 | 第48页 |
| ·结果讨论与分析 | 第48-50页 |
| ·三氯氢硅第一精馏单元 | 第50-54页 |
| ·分离要求(质量分率) | 第50页 |
| ·三氯氢硅第一精馏单元模拟工艺简介及流程构建 | 第50-52页 |
| ·结果讨论与分析 | 第52-54页 |
| ·三氯氢硅第二精馏单元 | 第54-57页 |
| ·分离要求(质量分率) | 第54页 |
| ·三氯氢硅第二精馏单元工艺简介及模拟流程构建 | 第54-55页 |
| ·结果讨论与分析 | 第55-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 第五章 单塔的模拟优化分析 | 第58-72页 |
| ·前言 | 第58页 |
| ·T0301塔优化分析 | 第58-64页 |
| ·T0301理论塔板数的确定 | 第58-59页 |
| ·T0301最佳回流比的确定 | 第59-61页 |
| ·T0301最佳进料位置的确定 | 第61-63页 |
| ·T0301精馏塔的温度、压力分布 | 第63-64页 |
| ·T0301精馏塔的气相、液相流率分布 | 第64页 |
| ·小结 | 第64页 |
| ·T0304塔优化分析 | 第64-70页 |
| ·T0304理论塔板数的确定 | 第64-66页 |
| ·T0304最佳回流比的确定 | 第66-68页 |
| ·T0304最佳进料位置的确定 | 第68-69页 |
| ·T0304精馏塔的温度、压力分布 | 第69-70页 |
| ·T0304精馏塔的气相、液相流率分布 | 第70页 |
| ·小结 | 第70页 |
| ·结论 | 第70-72页 |
| 第6章 结论 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 致谢 | 第77页 |