热场改造对多晶硅性能的影响

摘要	第1-4页
Abstract	第4-8页
第1章 绪论	第8-21页
·引言	第8-9页
·多晶硅铸造工艺	第9-11页
·多晶硅铸锭的杂质及缺陷研究	第11-17页
·多晶硅锭中主要杂质研究	第12-15页
·多晶硅锭中缺陷的的研究	第15-17页
·多晶硅铸锭的发展	第17-19页
·国外多晶硅铸锭研究	第17-18页
·国内多晶硅铸锭研究	第18-19页
·本文的研究目的及内容	第19-21页
·本文研究目的	第19-20页
·拟解决的关键问题	第20-21页
第2章 多晶硅铸锭炉的结构及铸锭过程	第21-27页
·铸锭炉的设计构造	第21-24页
·多晶硅铸锭炉的铸锭及硅片制作过程	第24-25页
·少子寿命测试仪	第25-27页
第3章 多晶硅铸锭炉热场改造	第27-29页
·铸锭炉热场改造设计	第27-28页
·多晶硅铸锭实验及数据采集	第28-29页
第4章 实验结果与讨论	第29-51页
·热场改造对晶锭底部籽晶保面积及高度的影响	第29-31页
·铸造多晶硅锭的籽晶保有面积及高度测量	第29页
·热场改造前后底部籽晶保有面积及高度对比	第29-31页
·热场改造前后晶锭少子寿命分析	第31-41页
·多晶硅锭底部少子寿命对比分析	第31-33页
·晶锭截面少子寿命对比分析	第33-36页
·晶锭截面少子寿命数据对比	第36-41页
·长晶固液界面对晶锭质量的影响	第41-48页
·晶锭截面少子寿命分布状况	第41-43页
·固液界面波动对晶体生长的影响	第43-48页
·热场改造对多晶硅太阳电池效率的影响	第48-50页
·多晶硅太阳电池效率检测	第48-49页
·电池效率数据分析	第49-50页
·小结	第50-51页
第5章 全文总结及展望	第51-53页
·本文主要研究工作	第51-52页
·本文主要创新点	第52页
·本课题存在的问题及今后研究的设想	第52-53页
参考文献	第53-57页
攻读硕士学位期间参加科研情况说明	第57-58页
致谢	第58-59页