纳米测量机三维微触觉测头开发
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 目次 | 第8-11页 |
| 图清单 | 第11-13页 |
| 表清单 | 第13-14页 |
| 1 绪论 | 第14-25页 |
| ·课题研究背景、目的及意义 | 第14-16页 |
| ·三维微触觉测头的国内外研究现状 | 第16-23页 |
| ·基于电容传感检测系统的三维微触觉测头 | 第16-17页 |
| ·基于压阻传感检测系统的三维微触觉测头 | 第17-20页 |
| ·基于电磁传感检测系统的三维微触觉测头 | 第20页 |
| ·基于谐振传感检测系统的三维微触觉测头 | 第20-21页 |
| ·基于光学传感检测系统的三维微触觉测头 | 第21-23页 |
| ·本文主要研究内容 | 第23-25页 |
| 2 MEMS 电容式三维微触觉测头设计 | 第25-33页 |
| ·测头结构及原理 | 第25-27页 |
| ·微电容传感器工艺及制备 | 第27-28页 |
| ·测头数据采集系统 | 第28-30页 |
| ·测头装配及封装 | 第30-31页 |
| ·测针的选择 | 第30页 |
| ·测头装配及封装设计 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 3 MEMS 压阻式三维微触觉测头设计 | 第33-55页 |
| ·测头结构及原理分析 | 第33-38页 |
| ·硅的压阻效应 | 第33-34页 |
| ·测头结构及位移检测模型 | 第34-35页 |
| ·压阻排布及检测 | 第35-38页 |
| ·悬挂系统加工工艺及流程 | 第38-43页 |
| ·悬挂系统版图设计及基本工艺介绍 | 第38-40页 |
| ·悬挂系统工艺流程设计 | 第40-42页 |
| ·压阻阻值测试 | 第42-43页 |
| ·测头数据采集系统设计 | 第43-53页 |
| ·电源模块设计 | 第44-45页 |
| ·信号调理模块设计 | 第45-46页 |
| ·A/D 转换模块设计 | 第46-47页 |
| ·单片机系统、液晶及串口通信模块设计 | 第47-48页 |
| ·PCB 及相应抗干扰设计 | 第48-49页 |
| ·系统软件设计 | 第49-51页 |
| ·系统评测及三轴通道校准 | 第51-53页 |
| ·测头装配及封装设计 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 4 微触觉测头性能测试 | 第55-64页 |
| ·测头校准装置 | 第55-56页 |
| ·MEMS 电容式三维微触觉测头性能测试 | 第56-58页 |
| ·测量范围测试 | 第56-57页 |
| ·线性及迟滞测试 | 第57-58页 |
| ·分辨力测试 | 第58页 |
| ·MEMS 压阻式三维微触觉测头性能测试 | 第58-61页 |
| ·测量范围测试 | 第58-59页 |
| ·线性及迟滞测试 | 第59-60页 |
| ·分辨力测试 | 第60-61页 |
| ·两种测头性能参数对比分析 | 第61-62页 |
| ·微观尺度下测头探测的影响机理研究 | 第62-63页 |
| ·接触力影响 | 第62页 |
| ·表面力影响 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 5 总结与展望 | 第64-66页 |
| ·全文总结 | 第64-65页 |
| ·本论文创新点 | 第65页 |
| ·工作展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 附录 A 压阻测头数据采集电路原理图 | 第70-72页 |
| 附录 B 压阻测头数据采集电路 PCB 版图 | 第72-73页 |
| 附录 C 压阻测头数据采集系统实物图 | 第73-74页 |
| 附录 D 压阻测头数据采集系统程序 | 第74-83页 |
| 作者简介 | 第83-84页 |
