基于紫外光刻的滚动压印模具的研制
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-14页 |
| ·课题背景及意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-12页 |
| ·本论文的研究内容 | 第12-14页 |
| 第2章 滚动压印模具加工工艺路线设计 | 第14-22页 |
| ·工艺路线选择 | 第14-15页 |
| ·紫外光刻加工滚压模工艺过程 | 第15-20页 |
| ·光刻胶的选择 | 第16页 |
| ·涂胶方式的选择 | 第16-17页 |
| ·曝光方式的选择 | 第17-18页 |
| ·微电铸镍工艺 | 第18-20页 |
| 本章小结 | 第20-22页 |
| 第3章 实验装置的研制 | 第22-36页 |
| ·提拉法涂胶装置的研制 | 第22-24页 |
| ·设计方案 | 第22-23页 |
| ·提拉法涂胶装置的运动控制 | 第23-24页 |
| ·提拉法涂胶装置的误差分析 | 第24页 |
| ·辅助曝光装置研制 | 第24-33页 |
| ·平面图形复制到到圆柱面的误差分析 | 第24-29页 |
| ·辅助曝光装置设计 | 第29-32页 |
| ·辅助曝光装置的安装调试 | 第32页 |
| ·辅助曝光装置的运动控制 | 第32-33页 |
| ·微电铸实验装置的研制 | 第33-35页 |
| 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 提拉法涂胶数值计算与实验验证 | 第36-50页 |
| ·提拉法涂胶理论 | 第36-38页 |
| ·提拉法涂胶数值模型与工艺过程仿真 | 第38-45页 |
| ·仿真计算模型 | 第38-42页 |
| ·结果分析 | 第42-45页 |
| ·提拉法涂胶实验 | 第45-49页 |
| ·实验方法及步骤 | 第45-46页 |
| ·提拉法涂胶实验结果分析 | 第46-49页 |
| 本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 紫外光刻与微电铸镍实验 | 第50-64页 |
| ·步进式曝光实验 | 第50页 |
| ·实验结果分析 | 第50-55页 |
| ·曝光时间对光刻图形的影响 | 第50-52页 |
| ·不同线宽与间距的光刻图形 | 第52-55页 |
| ·微电铸镍 | 第55-62页 |
| ·微电铸镍理论厚度计算 | 第55-57页 |
| ·微电铸工艺过程 | 第57-58页 |
| ·微电铸实验结果分析 | 第58-62页 |
| 本章小结 | 第62-64页 |
| 第6章 总结与展望 | 第64-66页 |
| ·结论 | 第64页 |
| ·对未来工作的展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 致谢 | 第70-72页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第72页 |
