超薄硅片的制备、力学特性及应用研究

摘要	第1-4页
Abstract	第4-6页
目次	第6-7页
第一章 绪论	第7-16页
·引言	第7-12页
·本论文的研究背景、意义以国内外研究现状	第12-15页
·本论文的主要内容	第15-16页
第二章 单晶硅片的性质、制备、减薄及硅微加工	第16-21页
·硅材料的基本性质	第16-17页
·单晶硅片的特性简介	第17页
·单晶硅片的制备及减薄	第17-20页
·硅微加工	第20-21页
第三章 基于超薄硅片的薄膜变形反射镜探究	第21-33页
·变形反射镜工作原理及静态性能分析	第23-27页
·变形反射镜动态性能分析	第27-28页
·变形反射镜临界状态分析	第28-31页
·超薄硅片的弹性力学特性与硅片半径及厚度关系分析	第31-33页
第四章 基于超薄硅片的薄膜变形反射镜设计及制作	第33-51页
·超薄硅片薄膜变形反射镜技术指标	第33页
·超薄硅片薄膜变形反射镜的电极设计	第33-39页
·超薄硅片薄膜变形反射镜性能分析及仿真	第39-46页
·超薄硅片薄膜变形反射镜的反射镜面	第46页
·超薄硅片薄膜变形反射镜组装	第46-48页
·超薄硅片薄膜变形反射镜表面形貌测试方案的探究	第48-51页
第五章 总结与展望	第51-53页
参考文献	第53-56页
致谢	第56页