| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第一章 前言 | 第11-19页 |
| ·简介 | 第11页 |
| ·几种常见的低压等离子体诊断方法 | 第11-14页 |
| ·郎缪探针法 | 第11-12页 |
| ·光谱法 | 第12-14页 |
| ·微波共振探针诊断 | 第14-18页 |
| ·本论文研究的内容和意义 | 第18-19页 |
| 第二章 微波共振探针的传输线理论基础 | 第19-25页 |
| ·微波共振探针传输线等效电路图 | 第19-21页 |
| ·微波共振探针传输线方程 | 第21-24页 |
| ·传输线的重要概念 | 第22-24页 |
| ·微波共振探针共振的特征参数 | 第24-25页 |
| 第三章 微波共振探针的结构与设计优化 | 第25-45页 |
| ·同轴型微波共振探针的优化 | 第25-37页 |
| ·普通同轴传输线型微波共振探针 | 第25-30页 |
| ·螺旋芯线型同轴微波共振探针 | 第30-33页 |
| ·介质环增强磁耦合型同轴微波共振探针 | 第33-37页 |
| ·Hairpin型共振探针几何尺寸的优化 | 第37-45页 |
| ·实验材料的准备 | 第37页 |
| ·探针及耦合线圈的制作 | 第37-38页 |
| ·探针几何尺寸(直径、长度)对品质因子Q的影响 | 第38-41页 |
| ·探针与线圈的耦合方式对Q值的影响 | 第41-43页 |
| ·分析与讨论 | 第43-45页 |
| 第四章 探针测试干扰及解决方法 | 第45-53页 |
| ·放电器金属与电磁场作用引起的干扰问题 | 第45-47页 |
| ·解决方案 | 第47-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 微波共振探针用于常压低温等离子体射流参数的诊断 | 第53-63页 |
| ·Hairpin共振探针测量等离子体参数的原理 | 第53-54页 |
| ·放电装置及工作条件 | 第54-55页 |
| ·诊断装置 | 第55-56页 |
| ·常压等离子体参数与共振谱的关系 | 第56-58页 |
| ·等离子体电子温度及电子密度的计算 | 第58-61页 |
| ·等离子体电子温度 | 第58-61页 |
| ·等离子体电子密度 | 第61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第六章 全文总结 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 硕士期间发表文章 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |