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具有ITO的GaNLED光电特性及可靠性研究

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第一章 绪论第10-18页
   ·透明导电薄膜第10页
   ·ITO的物理结构和特性第10-14页
     ·ITO薄膜的结构第10-11页
     ·ITO薄膜的电学特性第11页
     ·ITO薄膜的光学特性第11-12页
     ·ITO薄膜的导电机理第12-14页
   ·ITO在LED芯片制作中的应用第14-15页
   ·本论文的主要研究内容第15-18页
第二章 利用ITO改善LED性能的理论研究第18-28页
   ·电子束蒸发制备ITO第18-20页
   ·薄膜的结构和性能测试第20-22页
     ·膜厚的测量第20-21页
     ·四探针法测量薄膜的方阻第21-22页
     ·分光光度计测量薄膜透射率第22页
   ·热处理对ITO特性的影响第22-26页
     ·实验过程第23页
     ·结果与讨论第23-26页
   ·本章小结第26-28页
第三章 ITO在蓝光LED中的接触特性研究第28-42页
   ·金/半接触第28-31页
     ·金属—半导体界面态第28-29页
     ·导电机理第29-31页
   ·欧姆接触测试方法第31-35页
     ·传输线模型第32-33页
     ·环形传输线模型第33-35页
   ·霍尔测试第35-37页
   ·ITO/P-GaN接触特性研究第37-40页
   ·本章小结第40-42页
第四章 ITO对LED性能的影响第42-56页
   ·电流扩展第42-47页
     ·电流拥挤效应第42页
     ·电流拥挤模型第42-46页
     ·获得均匀电流扩展的方法第46-47页
   ·ITO退火对蓝光LED性能的影响第47-50页
     ·实验样品的制备第47-48页
     ·测试结果及分析第48-50页
   ·具有ITO的GaN基高压蓝光LED特性分析第50-54页
     ·高压蓝光LED设计与制造第50-51页
     ·高压蓝光LED测试与分析第51-54页
   ·本章小结第54-56页
第五章 基于ITO的GaNLED热特性及可靠性第56-80页
   ·LED可靠性第56-58页
     ·LED可靠性定义第56-57页
     ·LED可靠性试验第57-58页
   ·LED参数与结温的关系第58-64页
     ·实验样品及装置第58-59页
     ·测试结果及分析第59-64页
   (1)光效随电流、温度的变化关系第59-60页
   (2)结温、电流、电压之间的变化关系第60-62页
   (3)温升对光通量和发光波长的影响第62-64页
   ·加速寿命试验第64-67页
     ·加速寿命试验的基本思想第64-66页
     ·加速寿命试验的理论依据第66-67页
   ·ITO对GaNLED可靠性的影响第67-77页
     ·GaNLED电压升高现象研究第67-71页
     ·GaNLED电流应力试验第71-74页
     ·GaNLED失效机理分析第74-77页
   ·本章小结第77-80页
结论第80-82页
参考文献第82-90页
攻读硕士学位期间所发表的学术论文第90-92页
致谢第92页

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