面向高端制造装备的高速精密定位平台控制技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 致谢 | 第8-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-22页 |
| ·课题的研究意义和来源 | 第14-17页 |
| ·对芯片封装设备的意义 | 第14-16页 |
| ·对高速数控加工中心的意义 | 第16-17页 |
| ·课题的来源 | 第17页 |
| ·高速精密运动平台国内外研究现状 | 第17-19页 |
| ·国外研究现状 | 第17-18页 |
| ·国内研究现状 | 第18-19页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第19-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第二章 高速精密定位平台总体设计 | 第22-33页 |
| ·总体设计原则 | 第22-23页 |
| ·高速精密定位平台总体方案设计 | 第23-24页 |
| ·定位平台功能要求 | 第23页 |
| ·定位平台总体结构 | 第23-24页 |
| ·定位平台运动机构性能指标 | 第24页 |
| ·定位平台结构设计与搭建 | 第24-27页 |
| ·平台机械结构设计 | 第24-25页 |
| ·平台驱动装置 | 第25-26页 |
| ·平台检测装置 | 第26-27页 |
| ·定位平台控制系统设计 | 第27-32页 |
| ·开放式数控系统 | 第27页 |
| ·控制系统硬件配置 | 第27-30页 |
| ·控制系统软件结构 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 高速高精度直线电机伺服系统控制策略研究 | 第33-46页 |
| ·永磁同步直线电机的结构与工作原理 | 第33-35页 |
| ·永磁同步直线电机的结构 | 第33-35页 |
| ·永磁同步直线电机工作原理 | 第35页 |
| ·永磁同步直线电机数学模型 | 第35-38页 |
| ·永磁同步直线电机的矢量控制 | 第36页 |
| ·矢量空间下直线电机的电磁模型 | 第36-38页 |
| ·直线电机运动系统数学模型 | 第38-39页 |
| ·直线电机定位平台伺服控制策略研究 | 第39-43页 |
| ·影响直线电机伺服系统性能的主要因素 | 第40页 |
| ·伺服系统的控制方式 | 第40-41页 |
| ·伺服系统的控制结构 | 第41-42页 |
| ·高速高精度的伺服控制策略 | 第42-43页 |
| ·基于前馈的改进型PID控制算法 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 基于前馈的改进型PID控制策略实验研究 | 第46-60页 |
| ·PMAC运动控制卡简介 | 第46-49页 |
| ·PMAC硬件结构 | 第46-47页 |
| ·PMAC控制算法 | 第47-48页 |
| ·PMAC调试软件 | 第48-49页 |
| ·伺服控制系统PID参数综合调试 | 第49-55页 |
| ·系统瞬态响应性能指标 | 第49-51页 |
| ·PID参数综合整定 | 第51-55页 |
| ·速度/加速度前馈参数综合调试 | 第55-57页 |
| ·摩擦前馈补偿 | 第57-58页 |
| ·实验总结 | 第58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第五章 高速精密定位平台性能测试与分析 | 第60-72页 |
| ·高速精密定位平台精度测定研究 | 第60-66页 |
| ·定位精度评定标准 | 第60-61页 |
| ·定位精度的测量及计算 | 第61-66页 |
| ·高速精密定位平台最大稳定速度与最大加速度 | 第66-67页 |
| ·最大稳定速度 | 第66-67页 |
| ·最大加速度 | 第67页 |
| ·高速精密定位平台性能分析与研究 | 第67-70页 |
| ·对定位精度的影响 | 第68-69页 |
| ·对速度及最大加速度的影响 | 第69-70页 |
| ·实验总结 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第六章 总结与展望 | 第72-74页 |
| ·全文总结 | 第72-73页 |
| ·展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第77页 |
