BST铁电薄膜移相器结构仿真与工艺研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-21页
·铁电材料的物理特性及其应用	第9-13页
·雷达移相器的工作原理与分类	第13-17页
·BST 移相器的国内外研究概况	第17-20页
·本论文的主要工作内容	第20-21页
2 铁电薄膜移相器的理论分析	第21-37页
·BST 薄膜的特性与制备方法	第21-24页
·微波传输线的理论模型	第24-30页
·分布式负载电容叉指结构分析	第30-34页
·双周期型电容加载理论分析	第34-36页
·本章小结	第36-37页
3 BST 薄膜移相器的HFSS 仿真分析	第37-52页
·HFSS 软件介绍	第37页
·叉指电容加载结构模拟仿真	第37-44页
·CPW-MS 转换结构仿真	第44-46页
·双周期型电容加载仿真	第46-51页
·本章小结	第51-52页
4 BST 薄膜移相器的单元设计与制备	第52-66页
·BST 铁电薄膜的制备与性能研究	第52-55页
·铁电薄膜移相器的单元设计	第55-58页
·铁电薄膜移相器的单元制备	第58-61页
·制备结果与测试方案	第61-65页
·本章小结	第65-66页
5 全文总结	第66-68页
·本论文主要结论	第66-67页
·有待进一步解决的问题	第67-68页
致谢	第68-69页
参考文献	第69-73页