光纤法珀压力传感器的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·光纤传感技术 | 第9-12页 |
| ·光纤压力传感器及其分类 | 第12-15页 |
| ·相位调制型压力传感器 | 第12-13页 |
| ·波长调制型压力传感器 | 第13页 |
| ·偏振调制型压力传感器 | 第13-14页 |
| ·其他类型压力传感器 | 第14-15页 |
| ·光纤法珀压力传感器研究现状 | 第15页 |
| ·本论文研究意义和论文结构 | 第15-17页 |
| 第二章 光纤法珀传感器基本原理 | 第17-27页 |
| ·光纤法珀干涉原理 | 第17-19页 |
| ·光纤法珀传感器的分类 | 第19-21页 |
| ·本征型光纤法珀传感器 | 第19-20页 |
| ·非本征光纤法珀传感器 | 第20页 |
| ·线型复合腔光纤法珀传感器 | 第20-21页 |
| ·光纤法珀传感器的解调方法 | 第21-26页 |
| ·强度解调 | 第21-23页 |
| ·相位解调 | 第23-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 光纤法珀压力传感器结构设计与制作 | 第27-34页 |
| ·膜片式压力传感器原理 | 第27-29页 |
| ·膜片压力传感原理 | 第27-28页 |
| ·传感器的尺寸设计 | 第28-29页 |
| ·传感头的制作工艺 | 第29-33页 |
| ·157NM激光加工系统 | 第29-30页 |
| ·传感头制作方法 | 第30页 |
| ·157nm 激光加工方式的特点 | 第30-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 光纤法珀压力传感器测试 | 第34-58页 |
| ·传感器的校准 | 第34-38页 |
| ·传感器的校准原理 | 第34-35页 |
| ·校准系统 | 第35-38页 |
| ·光纤法珀压力传感器技术指标分析 | 第38-43页 |
| ·灵敏度测试 | 第38页 |
| ·准确度与线性度 | 第38-41页 |
| ·重复性与稳定性 | 第41-43页 |
| ·传感器的温度特性 | 第43-50页 |
| ·高温测试系统 | 第43-46页 |
| ·温度实验 | 第46-50页 |
| ·结果分析 | 第50页 |
| ·大量程压力传感器油压测试 | 第50-53页 |
| ·灵敏度及线性度 | 第50-52页 |
| ·结果分析 | 第52-53页 |
| ·传感器的认证 | 第53-56页 |
| ·认证方式 | 第53-54页 |
| ·认证结果 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 第五章 结论与展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第63-64页 |
