光学薄膜激光损伤的判识研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-12页 |
| ·光学薄膜激光损伤研究的背景和意义 | 第8页 |
| ·光学薄膜激光损伤的国内外研究现状 | 第8-10页 |
| ·论文的主要工作 | 第10-12页 |
| 2 光学薄膜的激光损伤判识 | 第12-18页 |
| ·常见的损伤判识方法 | 第12-16页 |
| ·散射光检测法 | 第12-13页 |
| ·相衬显微镜观测法 | 第13页 |
| ·等离子体闪光法 | 第13页 |
| ·光声法 | 第13-14页 |
| ·声光法 | 第14页 |
| ·光热偏转法 | 第14-15页 |
| ·六角光栅法 | 第15页 |
| ·透射反射法 | 第15-16页 |
| ·基于机器视觉技术的损伤判识 | 第16-17页 |
| ·基于图像相似的损伤判识 | 第16-17页 |
| ·图像损伤区域的提取 | 第17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 3 基于图像处理的薄膜激光损伤判识 | 第18-36页 |
| ·测试系统的硬件组成 | 第18-19页 |
| ·差异直方图相似算法 | 第19-23页 |
| ·差异图象直方图分布特性 | 第21-22页 |
| ·直方图测度函数 | 第22-23页 |
| ·测度阈值的选取 | 第23页 |
| ·定量检测薄膜损伤的算法 | 第23-35页 |
| ·显微图像预处理 | 第23-27页 |
| ·二值化 | 第27-30页 |
| ·统计损伤面积 | 第30-33页 |
| ·计算最大损伤尺寸 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 4 薄膜的激光损伤机理分析 | 第36-42页 |
| ·膜层表面热效应损伤 | 第36-37页 |
| ·多光子吸收损伤和雪崩离化 | 第37-39页 |
| ·多光子吸收损伤 | 第38页 |
| ·雪崩离化 | 第38-39页 |
| ·场效应损伤 | 第39-40页 |
| ·杂质与缺陷能级 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 5 薄膜图像的损伤特征提取 | 第42-56页 |
| ·几何特征提取 | 第42-49页 |
| ·形状参数 | 第43-47页 |
| ·损伤区域的连通度 | 第47-48页 |
| ·边界长度分布特征 | 第48-49页 |
| ·颜色特征提取 | 第49-52页 |
| ·RGB均值分布 | 第49-51页 |
| ·HSV颜色直方图交叉算法 | 第51-52页 |
| ·基于损伤形貌特征提取的机理推断 | 第52-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 6 实验结果与数据分析 | 第56-61页 |
| ·薄膜样片的工艺参数 | 第56页 |
| ·损伤直径与面积的计算结果 | 第56-60页 |
| ·误差源分析 | 第60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 7 结论 | 第61-64页 |
| ·本文的工作 | 第61页 |
| ·进一步的工作和展望 | 第61-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
