| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-52页 |
| ·半导体化学传感器概述 | 第14-15页 |
| ·气体传感器 | 第15-21页 |
| ·气体传感器的分类 | 第16-17页 |
| ·半导体气体传感器的基本特性参数 | 第17-18页 |
| ·半导体气体传感器的敏感机理 | 第18-20页 |
| ·提高气体传感器敏感特性的方法 | 第20-21页 |
| ·湿度传感器 | 第21-24页 |
| ·湿度传感器的基本特性参数 | 第22-23页 |
| ·湿度传感器的工作原理 | 第23-24页 |
| ·介孔材料简介 | 第24-40页 |
| ·介孔材料的合成方法 | 第26-30页 |
| ·介孔材料的表征 | 第30-35页 |
| ·介孔材料的组成 | 第35-40页 |
| ·基于介孔氧化物半导体的化学传感器 | 第40-41页 |
| ·论文选题及研究意义 | 第41-44页 |
| 参考文献 | 第44-52页 |
| 第二章 介孔 SnO_2的制备及其对丙酮的敏感特性研究 | 第52-68页 |
| ·引言 | 第52-54页 |
| ·实验方法 | 第54-56页 |
| ·实验试剂 | 第54页 |
| ·材料合成 | 第54-55页 |
| ·材料表征 | 第55页 |
| ·气敏元件制备及其测试 | 第55-56页 |
| ·结果与讨论 | 第56-65页 |
| ·表征分析 | 第56-61页 |
| ·丙酮气敏测试及其机理讨论 | 第61-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 第三章 Pd 掺杂介孔 SnO_2的制备及其对氢气的敏感特性研究 | 第68-80页 |
| ·引言 | 第68-69页 |
| ·实验方法 | 第69-70页 |
| ·实验试剂 | 第69页 |
| ·材料合成 | 第69-70页 |
| ·材料表征 | 第70页 |
| ·气敏元件制备及其测试 | 第70页 |
| ·结果与讨论 | 第70-77页 |
| ·表征分析 | 第70-74页 |
| ·H_2气敏测试及其机理讨论 | 第74-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-80页 |
| 第四章 Fe 掺杂介孔 In_2O_3的制备及其对二氧化氮的敏感特性研究 | 第80-96页 |
| ·引言 | 第80-81页 |
| ·实验方法 | 第81-82页 |
| ·实验试剂 | 第81页 |
| ·材料合成 | 第81-82页 |
| ·材料表征 | 第82页 |
| ·气敏元件制备及其测试 | 第82页 |
| ·结果与讨论 | 第82-91页 |
| ·表征分析 | 第82-87页 |
| ·NO_2气敏测试及其机理讨论 | 第87-91页 |
| ·本章小结 | 第91-93页 |
| 参考文献 | 第93-96页 |
| 第五章 介孔 LaFeO_3的制备及其对湿度的敏感特性研究 | 第96-114页 |
| ·引言 | 第96-98页 |
| ·实验方法 | 第98-99页 |
| ·实验试剂 | 第98页 |
| ·材料合成 | 第98页 |
| ·材料表征 | 第98-99页 |
| ·湿敏元件制备及其测试 | 第99页 |
| ·结果与讨论 | 第99-109页 |
| ·表征分析 | 第99-102页 |
| ·湿敏测试及其机理讨论 | 第102-109页 |
| ·本章小结 | 第109-110页 |
| 参考文献 | 第110-114页 |
| 第六章 结论 | 第114-116页 |
| 作者简介和攻读博士学位期间发表的学位论文及参加的学术会议 | 第116-119页 |
| 致谢 | 第119页 |