视觉检测在自动晶圆划片系统中的应用研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| ·课题的研究背景和意义 | 第10-12页 |
| ·课题背景 | 第10-11页 |
| ·研究意义 | 第11-12页 |
| ·晶圆划片技术概况 | 第12-15页 |
| ·晶圆相关介绍 | 第12-14页 |
| ·晶圆划片机的发展现状与趋势 | 第14-15页 |
| ·视觉检测系统的研究现状 | 第15-18页 |
| ·视觉检测技术 | 第15-16页 |
| ·视觉检测系统的应用现状 | 第16-18页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第18-20页 |
| 第2章 系统的硬件结构及控制软件设计 | 第20-35页 |
| ·系统的整体规划 | 第20-22页 |
| ·系统的硬件结构设计 | 第22-28页 |
| ·显微相机 | 第22-23页 |
| ·XY直线平台 | 第23-24页 |
| ·Theta旋转平台 | 第24-25页 |
| ·紫外激光器 | 第25页 |
| ·工控机系统 | 第25-26页 |
| ·相关辅助设备 | 第26-27页 |
| ·电气控制电路 | 第27-28页 |
| ·系统的控制软件设计 | 第28-34页 |
| ·软件系统整体架构 | 第28-29页 |
| ·模块化程序设计 | 第29-33页 |
| ·程序的运行过程 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 晶圆图像的预处理过程 | 第35-50页 |
| ·图像的获取 | 第35-36页 |
| ·图像的灰度化 | 第36-37页 |
| ·图像的增强 | 第37-44页 |
| ·灰度变换 | 第37-40页 |
| ·直方图变换 | 第40-42页 |
| ·图像平滑滤波 | 第42-44页 |
| ·基于大津自适应最佳全局阈值的处理 | 第44-46页 |
| ·图像的阈值处理 | 第44-45页 |
| ·大津自适应阈值法 | 第45-46页 |
| ·图像的边缘检测算法 | 第46-49页 |
| ·Sobel算子 | 第46-47页 |
| ·Canny边缘算子 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 晶圆的视觉检测定位过程 | 第50-67页 |
| ·晶圆安装及坐标系确定 | 第50-52页 |
| ·晶圆的安装 | 第50-51页 |
| ·坐标系的确定 | 第51-52页 |
| ·晶圆图像的预处理 | 第52-53页 |
| ·晶圆特征检测与识别 | 第53-60页 |
| ·Hough变换 | 第53-57页 |
| ·模板匹配 | 第57-58页 |
| ·基于Hough直线检测的晶圆定位方法 | 第58-60页 |
| ·一种晶圆定位角度的校正方法 | 第60-62页 |
| ·自动划片的路径规划 | 第62-66页 |
| ·晶圆边界搜索及划片区域确定 | 第62-63页 |
| ·晶圆划片路径规划 | 第63-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第5章 视觉检测定位系统的误差分析 | 第67-77页 |
| ·硬件误差 | 第67-69页 |
| ·运动平台驱动系统的分辨率 | 第67页 |
| ·平台整体的安装误差 | 第67-68页 |
| ·机构变形引起的误差 | 第68页 |
| ·相机的畸变误差 | 第68-69页 |
| ·图像的噪声误差 | 第69页 |
| ·软件误差 | 第69-70页 |
| ·图像的处理算法误差 | 第69-70页 |
| ·累积误差 | 第70页 |
| ·基于软件的误差改进方法 | 第70-76页 |
| ·光栅位置闭环控制 | 第70页 |
| ·误差补偿方法 | 第70-72页 |
| ·图像几何失真的校正 | 第72-74页 |
| ·摄像机的标定 | 第74-75页 |
| ·图像处理算法的优化 | 第75页 |
| ·亚像素检测技术 | 第75-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 第6章 结论与展望 | 第77-79页 |
| ·结论 | 第77-78页 |
| ·工作建议与展望 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 攻读硕士学位期间发表与已录用的论文 | 第83页 |
