薄膜电阻型红外辐射源的仿真设计与加工工艺研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·引言 | 第8-12页 |
| ·红外辐射源 | 第12-15页 |
| ·主要研究任务 | 第15-16页 |
| 第二章 红外辐射源的制备工艺与分析方法 | 第16-23页 |
| ·微加工与清洗工艺 | 第16-19页 |
| ·MEMS微加工技术 | 第16-18页 |
| ·等离子气体清洗 | 第18-19页 |
| ·金属薄膜制备 | 第19-20页 |
| ·表征与分析方法 | 第20-23页 |
| ·薄膜厚度测量 | 第20页 |
| ·薄膜电阻参数测试 | 第20-23页 |
| 第三章 红外辐射源的理论分析与模拟 | 第23-43页 |
| ·红外辐射源辐射理论分析 | 第23-26页 |
| ·材料选择与结构设计 | 第26-29页 |
| ·材料选择 | 第26-28页 |
| ·结构设计 | 第28-29页 |
| ·红外辐射源的热传递机理 | 第29-31页 |
| ·红外辐射源热学模拟 | 第31-42页 |
| ·ANSYS分析流程 | 第31-33页 |
| ·有限元仿真模型的建立 | 第33-37页 |
| ·红外辐射源稳态热模拟 | 第37-40页 |
| ·红外辐射源瞬态热模拟 | 第40-42页 |
| ·小结 | 第42-43页 |
| 第四章 红外辐射源的薄膜与结构制备工艺 | 第43-56页 |
| ·工艺流程 | 第43-51页 |
| ·清洗与氧化 | 第44-45页 |
| ·光刻与Pt/Ti金属薄膜制备 | 第45-47页 |
| ·剥离与刻蚀工艺 | 第47-51页 |
| ·关键工艺步骤实现 | 第51-55页 |
| ·湿法刻蚀夹具设计 | 第51-52页 |
| ·支撑结构释放工艺 | 第52-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 第五章 红外辐射源的响应特性 | 第56-65页 |
| ·红外辐射源测试系统 | 第56-57页 |
| ·红外辐射源稳态响应 | 第57-58页 |
| ·红外辐射源动态响应 | 第58-59页 |
| ·支撑层厚度的影响 | 第58-59页 |
| ·频响特性 | 第59页 |
| ·器件结构性能比较 | 第59-63页 |
| ·最佳输入功率确定 | 第61-62页 |
| ·悬臂梁结构选择 | 第62-63页 |
| ·加热电阻图形选择 | 第63页 |
| ·小结 | 第63-65页 |
| 第六章 结论与展望 | 第65-67页 |
| ·结论 | 第65-66页 |
| ·展望 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第71页 |
