摘要 | 第1-6页 |
ABSTRACT | 第6-11页 |
第一章 绪论 | 第11-25页 |
·课题研究背景 | 第11-14页 |
·常用光源简介和LED的优点 | 第11-13页 |
·LED照明产业的发展现状 | 第13-14页 |
·课题研究意义 | 第14-23页 |
·发光二极管的光抽取效率及光抽取效率较低的原因 | 第14-18页 |
·国内外关于提高LED光抽取效率的研究现状 | 第18-23页 |
·倒装芯片结构 | 第18页 |
·生长布拉格反射层结构 | 第18-19页 |
·光子晶体结构 | 第19-21页 |
·芯片表面粗化 | 第21-22页 |
·表面生长ITO纳米棒阵列 | 第22-23页 |
·课题主要的研究内容 | 第23-25页 |
第二章 ZnO纳米结构阵列的制备方法 | 第25-32页 |
·氧化锌材料的性质 | 第25-26页 |
·一维ZnO纳米材料的制备方法 | 第26-28页 |
·气相沉积法 | 第26-27页 |
·固相沉积法 | 第27页 |
·液相沉积法 | 第27-28页 |
·ZnO纳米棒结构的水热生长 | 第28-31页 |
·晶体水热生长的基本概念 | 第28页 |
·晶体的水热反应生长过程 | 第28-29页 |
·氧化锌纳米阵列的水热生长过程 | 第29-31页 |
·主要的测试表征手段 | 第31-32页 |
第三章 水热生长法制备ZnO纳米棒阵列结构 | 第32-41页 |
·实验过程介绍 | 第32页 |
·射频磁控溅射法制备氧化锌籽晶层 | 第32-35页 |
·基片清洗步骤 | 第32-33页 |
·磁控溅射原理 | 第33-34页 |
·实验参数的设定 | 第34-35页 |
·不同溅射时间对ZnO籽晶层的透过率的影响 | 第35页 |
·水热生长法制备ZnO纳米棒阵列 | 第35-40页 |
·实验过程 | 第35-36页 |
·结果讨论 | 第36-40页 |
·ZnO籽晶层厚度对于LED光抽取效率的影响 | 第36-37页 |
·水热反应溶液的浓度对ZnO纳米棒阵列的形貌的影响 | 第37-38页 |
·生长时间对ZnO纳米棒阵列形貌的影响 | 第38-39页 |
·ZnO籽晶、ZnO纳米棒阵列与ZnO薄膜的XRD对比 | 第39-40页 |
·本章小结 | 第40-41页 |
第四章 氧化锌纳米结构阵列提高LED光抽取效率 | 第41-65页 |
·ZnO纳米结构提高LED光抽取效率的机制 | 第41-43页 |
·实验过程及测试设备 | 第43-44页 |
·实验步骤 | 第43-44页 |
·测试设备 | 第44页 |
·制作有ZnO纳米阵列的LED的实验过程及测试结果 | 第44-52页 |
·ZnO籽晶层厚度对于LED光抽取效率的影响 | 第44-46页 |
·水热反应溶液浓度对LED光抽取效率的影响 | 第46-47页 |
·水热生长时间对LED光抽取效率的影响 | 第47-49页 |
·籽晶层覆盖面积对LED光抽取效率的影响 | 第49-52页 |
·溶胶-凝胶法+水热生长法制备ZnO纳米棒提高LED光抽取效率 | 第52-61页 |
·溶胶-凝胶法 | 第52-54页 |
·溶胶-凝胶法原理 | 第52-53页 |
·配制溶胶液 | 第53页 |
·旋涂法制备ZnO籽晶层 | 第53-54页 |
·不同溶胶液浓度对ZnO籽晶层的透过率的影响 | 第54页 |
·溶胶液的溶质浓度对LED光抽取效率的影响 | 第54-58页 |
·在其他LED样品的制备氧化锌纳米阵列结构 | 第58-61页 |
·两种籽晶制备工艺的对比 | 第61-63页 |
·光学显微镜下形貌对比 | 第61页 |
·水热生长的纳米棒形貌差异 | 第61-62页 |
·ZnO纳米棒阵列的X衍射图谱差异 | 第62-63页 |
·本章小结 | 第63-65页 |
第五章 总结 | 第65-67页 |
·本研究工作的总结 | 第65-66页 |
·存在的问题及对未来的展望 | 第66-67页 |
致谢 | 第67-68页 |
参考文献 | 第68-71页 |
攻硕期间取得的研究成果 | 第71页 |