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ZnO纳米结构提高LED光抽取效率的研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-11页
第一章 绪论第11-25页
   ·课题研究背景第11-14页
     ·常用光源简介和LED的优点第11-13页
     ·LED照明产业的发展现状第13-14页
   ·课题研究意义第14-23页
     ·发光二极管的光抽取效率及光抽取效率较低的原因第14-18页
     ·国内外关于提高LED光抽取效率的研究现状第18-23页
       ·倒装芯片结构第18页
       ·生长布拉格反射层结构第18-19页
       ·光子晶体结构第19-21页
       ·芯片表面粗化第21-22页
       ·表面生长ITO纳米棒阵列第22-23页
   ·课题主要的研究内容第23-25页
第二章 ZnO纳米结构阵列的制备方法第25-32页
   ·氧化锌材料的性质第25-26页
   ·一维ZnO纳米材料的制备方法第26-28页
     ·气相沉积法第26-27页
     ·固相沉积法第27页
     ·液相沉积法第27-28页
   ·ZnO纳米棒结构的水热生长第28-31页
     ·晶体水热生长的基本概念第28页
     ·晶体的水热反应生长过程第28-29页
     ·氧化锌纳米阵列的水热生长过程第29-31页
   ·主要的测试表征手段第31-32页
第三章 水热生长法制备ZnO纳米棒阵列结构第32-41页
   ·实验过程介绍第32页
   ·射频磁控溅射法制备氧化锌籽晶层第32-35页
     ·基片清洗步骤第32-33页
     ·磁控溅射原理第33-34页
     ·实验参数的设定第34-35页
     ·不同溅射时间对ZnO籽晶层的透过率的影响第35页
   ·水热生长法制备ZnO纳米棒阵列第35-40页
     ·实验过程第35-36页
     ·结果讨论第36-40页
       ·ZnO籽晶层厚度对于LED光抽取效率的影响第36-37页
       ·水热反应溶液的浓度对ZnO纳米棒阵列的形貌的影响第37-38页
       ·生长时间对ZnO纳米棒阵列形貌的影响第38-39页
       ·ZnO籽晶、ZnO纳米棒阵列与ZnO薄膜的XRD对比第39-40页
   ·本章小结第40-41页
第四章 氧化锌纳米结构阵列提高LED光抽取效率第41-65页
   ·ZnO纳米结构提高LED光抽取效率的机制第41-43页
   ·实验过程及测试设备第43-44页
     ·实验步骤第43-44页
     ·测试设备第44页
   ·制作有ZnO纳米阵列的LED的实验过程及测试结果第44-52页
     ·ZnO籽晶层厚度对于LED光抽取效率的影响第44-46页
     ·水热反应溶液浓度对LED光抽取效率的影响第46-47页
     ·水热生长时间对LED光抽取效率的影响第47-49页
     ·籽晶层覆盖面积对LED光抽取效率的影响第49-52页
   ·溶胶-凝胶法+水热生长法制备ZnO纳米棒提高LED光抽取效率第52-61页
     ·溶胶-凝胶法第52-54页
       ·溶胶-凝胶法原理第52-53页
       ·配制溶胶液第53页
       ·旋涂法制备ZnO籽晶层第53-54页
       ·不同溶胶液浓度对ZnO籽晶层的透过率的影响第54页
     ·溶胶液的溶质浓度对LED光抽取效率的影响第54-58页
     ·在其他LED样品的制备氧化锌纳米阵列结构第58-61页
   ·两种籽晶制备工艺的对比第61-63页
     ·光学显微镜下形貌对比第61页
     ·水热生长的纳米棒形貌差异第61-62页
     ·ZnO纳米棒阵列的X衍射图谱差异第62-63页
   ·本章小结第63-65页
第五章 总结第65-67页
   ·本研究工作的总结第65-66页
   ·存在的问题及对未来的展望第66-67页
致谢第67-68页
参考文献第68-71页
攻硕期间取得的研究成果第71页

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