超结构波导光栅设计与制备

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-18页
·光通信系统的发展	第8-9页
·超结构光栅器件及其在通信系统中的应用	第9-12页
·光栅的制备方法	第12-16页
·本论文的工作	第16-18页
2 超结构波导光栅的设计与模拟	第18-36页
·取样光栅的设计及模拟	第18-24页
·反射谱平坦化研究	第24-29页
·数字级联光栅的设计与模拟	第29-33页
·工艺设计与误差分析	第33-34页
·本章小结	第34-36页
3 基于纳米压印技术的光栅制备工艺及改进	第36-50页
·纳米压印技术的原理及工艺流程	第36-41页
·纳米压印的材料准备	第41-42页
·模版防粘	第42-45页
·软模版技术	第45-48页
·压印中的对准	第48-49页
·本章小结	第49-50页
4 采用纳米压印技术制备超结构波导光栅	第50-63页
·压印缺陷的改善	第50-55页
·超结构波导光栅的压印	第55-58页
·超结构波导光栅的刻蚀	第58-62页
·本章小结	第62-63页
5 总结与展望	第63-65页
·全文总结	第63-64页
·展望	第64-65页
致谢	第65-66页
参考文献	第66-71页
附录 攻读硕士学位期间发表的论文及申请的专利	第71页