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检测危险气体的石英晶振微天平气体传感器的研究

摘要第1-6页
Abstract第6-9页
第一章 绪论第9-16页
   ·气体检测第9-10页
   ·石英晶振微天平气体传感器的简介第10-11页
   ·QCM气体传感器吸附特性研究的主要性能指标第11页
   ·QCM传感器的国内外研究现状第11-13页
   ·危险气体的性质及危害第13-15页
     ·二甲苯气体的性质及危害第13-14页
     ·正己烷气体的性质及危害第14-15页
   ·论文主要工作内容第15-16页
第二章 QCM气体传感器的工作原理及测试系统第16-22页
   ·压电效应第16-17页
   ·QCM气体传感器的工作原理第17页
   ·POLANYI吸附势能理论第17-18页
   ·吸附-脱附过程分析第18-19页
   ·QCM气体传感器的测试系统第19-21页
     ·石英晶振片的结构第19页
     ·传感器测试系统原理第19-20页
     ·测试系统装置第20-21页
   ·影响QCM气体传感器系统性能的主要因素第21-22页
第三章 实验内容及方法第22-28页
   ·实验仪器与试剂第22-23页
   ·石英晶片的清洗第23页
   ·气敏材料的制备第23页
   ·镀膜工艺及其优缺点第23-26页
     ·擦涂法第24页
     ·滴涂法第24页
     ·蘸涂法第24页
     ·真空镀膜法第24页
     ·旋转镀膜法第24-26页
   ·石英晶振的干燥第26页
   ·基础频率测量第26-27页
   ·气体的配置第27页
   ·实验操作方法第27-28页
第四章 QCM气体传感器的实验结果与讨论第28-41页
   ·QCM气体传感器对二甲苯的响应特性研究第28-32页
     ·各种不同气敏材料对二甲苯的响应性第28-31页
     ·敏感膜对二甲苯气体的稳定性第31-32页
   ·QCM气体传感器对正己烷气体的响应特性研究第32-38页
     ·各种不同气敏材料对正己烷气体的响应性第32-35页
     ·敏感膜对正己烷气体的稳定性第35页
     ·二氧化钛敏感膜对不同浓度正己烷气体频率响应的线性关系第35-38页
   ·选择性第38-40页
   ·涂层量对实验结果的影响第40-41页
第五章 结论第41-42页
参考文献第42-45页
发表论文和科研情况说明第45-46页
致谢第46页

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