外延片在线曲率测量仪的研制
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 综述 | 第8-17页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·GaN基LED简介 | 第8-11页 |
| ·GaN基LED的发展 | 第8-9页 |
| ·硅衬底GaN基LED的发展 | 第9-11页 |
| ·GaN基LED外延片曲率测量 | 第11-15页 |
| ·外延片弯曲产生及影响 | 第11-12页 |
| ·国外在线曲率测量仪介绍 | 第12-13页 |
| ·在线曲率测量仪的应用 | 第13-15页 |
| ·本论文的研究内容及行文安排 | 第15-17页 |
| 第二章 系统测量原理及设计 | 第17-23页 |
| ·Si方格图形衬底介绍 | 第17-18页 |
| ·翘曲度测量基本原理 | 第18-20页 |
| ·寻找光斑方式设计 | 第20-22页 |
| ·小结 | 第22-23页 |
| 第三章 系统硬件设计 | 第23-35页 |
| ·系统整体结构设计 | 第23-24页 |
| ·光学部分硬件设计 | 第24-27页 |
| ·光源选择 | 第24-25页 |
| ·手动位移台和分光立方体的选择 | 第25-26页 |
| ·光电探测器的选择 | 第26-27页 |
| ·机械传动部分硬件设计 | 第27-29页 |
| ·电控位移台的介绍和选择 | 第27-29页 |
| ·步进电机细分驱动器的选择 | 第29页 |
| ·电路部分硬件设计 | 第29-34页 |
| ·PCL-722数字量板卡 | 第30-31页 |
| ·PCLD-782B光隔离数字量输入板 | 第31页 |
| ·同步信号接收电路设计 | 第31-32页 |
| ·电控位移台控制电路连接 | 第32-34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 第四章 系统软件设计 | 第35-47页 |
| ·系统软件设计概述 | 第35-37页 |
| ·开发软件平台VB介绍 | 第35-36页 |
| ·程序设计总体框架和界面 | 第36-37页 |
| ·在线曲率测量仪软件设计 | 第37-46页 |
| ·步进电机控制程序设计 | 第37-40页 |
| ·数据采集程序设计 | 第40-41页 |
| ·最小二乘法拟合曲线程序设计 | 第41-44页 |
| ·在线绘图程序设计 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 系统的调试、应用与实验结果分析 | 第47-58页 |
| ·系统调试 | 第47-50页 |
| ·系统硬件调试 | 第47-48页 |
| ·系统软件调试与系统联调 | 第48页 |
| ·实现手动测量 | 第48-50页 |
| ·测量仪应用与讨论 | 第50-56页 |
| ·实现自动测量 | 第50-51页 |
| ·激光干涉曲线与翘曲度曲线相结合 | 第51-53页 |
| ·翘曲度变化影响因素分析 | 第53-54页 |
| ·对比实验分析 | 第54-55页 |
| ·系统测量精度及误差分析 | 第55-56页 |
| ·小结 | 第56-58页 |
| 第六章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-66页 |
| 附录一 高精度定时器和步进电机控制子程序 | 第66-69页 |
| 附录二 CCD数据采集子程序 | 第69-70页 |
| 附录三 数据拟合运算子程序 | 第70-77页 |
| 附录四 在线绘图子程序 | 第77-79页 |
| 附录五 参数设置和数据保存子程序 | 第79-82页 |
| 附录六 在线曲率测量仪实物图 | 第82-83页 |
