Ti/DLC和W/DLC纳米多层膜PIIID制备技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| ·课题背景 | 第9-10页 |
| ·国内外在该方向的研究现状 | 第10-17页 |
| ·PIIID 技术的研究进展 | 第10-12页 |
| ·类金刚石(DLC)薄膜的膜基结合力研究进展 | 第12-13页 |
| ·纳米多层膜研究现状 | 第13-17页 |
| ·课题研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 实验材料、装置及实验方法 | 第18-26页 |
| ·实验材料及试样制备 | 第18页 |
| ·实验材料 | 第18页 |
| ·试样制备 | 第18页 |
| ·实验装置简介 | 第18-20页 |
| ·实验方法 | 第20-23页 |
| ·实验过程 | 第20-21页 |
| ·实验方案 | 第21-23页 |
| ·性能测试 | 第23-25页 |
| ·X 射线衍射分析（XRD） | 第23页 |
| ·扫描电镜分析（SEM） | 第23页 |
| ·显微硬度测试 | 第23-24页 |
| ·膜基结合力测试 | 第24页 |
| ·光学显微镜观察 | 第24页 |
| ·摩擦磨损性能测试 | 第24-25页 |
| ·腐蚀性能测试 | 第25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 薄膜的显微分析 | 第26-30页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·纳米多层薄膜的SEM 测试与分析 | 第26-28页 |
| ·纳米多层薄膜XRD 测试及分析 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第4章 薄膜的机械性能研究 | 第30-51页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·显微硬度性能研究 | 第30-36页 |
| ·单层薄测试结果及分析 | 第31-33页 |
| ·Ti/DLC 纳米多层薄膜测试结果及分析 | 第33-35页 |
| ·W/DLC 层薄膜测试结果及分析 | 第35-36页 |
| ·膜基结合力研究 | 第36-41页 |
| ·单层薄膜测试结果及分析 | 第37页 |
| ·Ti/DLC 纳米多层薄膜测试结果及分析 | 第37-39页 |
| ·W/DLC 纳米多层薄膜测试结果 | 第39-41页 |
| ·摩擦磨损性能研究 | 第41-50页 |
| ·单层薄膜测试结果及分析 | 第41-42页 |
| ·Ti/DLC 多层薄膜测试结果及分析 | 第42-46页 |
| ·W/DLC 多层薄膜测试结果及分析 | 第46-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 腐蚀性能研究 | 第51-55页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·单层薄膜测试结果及分析 | 第51-52页 |
| ·Ti/DLC 层薄膜测试结果及分析 | 第52-53页 |
| ·W/DLC 层薄膜测试结果及分析 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
