| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| ·MEMS系统级设计与仿真器 | 第8-10页 |
| ·MEMS系统级设计简介 | 第8-9页 |
| ·仿真器在MEMS系统级设计中的作用 | 第9-10页 |
| ·数/模混合信号仿真器国内外现状 | 第10-11页 |
| ·ZeniVDE仿真器 | 第11-12页 |
| ·课题来源及本论文的研究内容 | 第12-14页 |
| 第二章 基于VHDL-AMS语言的MEMS系统级建模 | 第14-31页 |
| ·VHDL-AMS语言模拟扩展部分的基本语义 | 第14-18页 |
| ·量(quantity) | 第15-16页 |
| ·端口(terminal) | 第16页 |
| ·性质(nature) | 第16-17页 |
| ·联立语句 | 第17-18页 |
| ·ZeniVDE中的库 | 第18页 |
| ·基于 VHDL-AMS语言的MEMS系统级建模方式 | 第18-23页 |
| ·守恒系统建模 | 第19-20页 |
| ·非守恒系统建模 | 第20-22页 |
| ·频域交流和噪声建模 | 第22页 |
| ·基于 VHDL-AMS语言的系统建模 | 第22-23页 |
| ·基于 VHDL-AMS语言的MEMS建模实例 | 第23-30页 |
| ·微梁模型的建立 | 第24-28页 |
| ·梁模型的组件编码 | 第28-29页 |
| ·梁系统模型的建立 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 模拟解算器的实现 | 第31-49页 |
| ·仿真器总体求解流程 | 第31-32页 |
| ·基于 VHDL-AMS语言的模型确立 | 第32-39页 |
| ·跳动的小球模型 | 第33-34页 |
| ·显式集 | 第34页 |
| ·结构集 | 第34-35页 |
| ·增广集 | 第35-39页 |
| ·中断集 | 第39页 |
| ·系统方程组的可解性 | 第39-40页 |
| ·模拟解算器的求解流程 | 第40-48页 |
| ·微分代数方程组数值解法 | 第41-42页 |
| ·非线性代数方程组数值解法 | 第42-43页 |
| ·线性代数方程组数值解法 | 第43-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 MEMS系统级仿真的软件实现及验证 | 第49-58页 |
| 4 1 ZeniVDE仿真器 | 第49-50页 |
| ·仿真及验证 | 第50-57页 |
| ·梳齿谐振器宏模型的仿真及验证 | 第50-53页 |
| ·微加速度计模型仿真及验证 | 第53-57页 |
| ·仿真结果及仿真器性能分析 | 第57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-60页 |
| ·总结 | 第58-59页 |
| ·展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 研究生期间发表论文 | 第63页 |
| 参加科研项目情况 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 附录 | 第65-82页 |
| 附录 A:梳齿谐振器设计参数 | 第65-67页 |
| 附录 B:梳齿谐振器模型 | 第67-68页 |
| 附录 C:力源模型 | 第68-69页 |
| 附录 D:微梁模型 | 第69-81页 |
| 附录 E:质量块、梳齿、锚点的实体描述 | 第81-82页 |