硅片传输机器人关键技术研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-16页 |
| ·课题研究意义 | 第7-9页 |
| ·国内外研究现状及分析 | 第9-14页 |
| ·硅片机器人研究现状及分析 | 第9-11页 |
| ·关键技术研究现状及分析 | 第11-14页 |
| ·研究内容 | 第14-16页 |
| 第二章 运动学分析及尺度综合 | 第16-28页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·机构介绍 | 第16-17页 |
| ·运动学分析 | 第17-20页 |
| ·位置逆解模型 | 第17-18页 |
| ·位置正解模型 | 第18-19页 |
| ·速度模型 | 第19-20页 |
| ·尺度综合 | 第20-27页 |
| ·工作空间与约束条件 | 第20-22页 |
| ·约束条件 | 第22-23页 |
| ·全域综合性能指标与优化问题构造 | 第23-25页 |
| ·实例分析 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 伺服电机参数预估 | 第28-34页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·刚体逆动力学模型 | 第28-30页 |
| ·伺服电机参数预估 | 第30-32页 |
| ·电机转子惯量 | 第30页 |
| ·主动关节角速度和转矩 | 第30-31页 |
| ·参数计算及伺服电机选取 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 第四章 轨迹规划 | 第34-41页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·轨迹规划 | 第34-38页 |
| ·正弦模式 | 第34-35页 |
| ·多项式模式 | 第35-36页 |
| ·修正梯形模式 | 第36-38页 |
| ·路径规划 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第五章 全文结论及工作展望 | 第41-43页 |
| ·结论 | 第41页 |
| ·工作展望 | 第41-43页 |
| 参考文献 | 第43-46页 |
| 致谢 | 第46页 |
