载能粒子沉积薄膜的Kinetic Monte Carlo模拟

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-13页
·引言	第8-9页
·薄膜生长理论的研究现状	第9-12页
·本文的工作	第12-13页
2 薄膜生长的模拟基础	第13-21页
·薄膜的制备	第13-14页
·薄膜的生长过程	第14-18页
·影响薄膜生长的因素	第18-21页
3 薄膜生长的模拟原理和方法	第21-26页
·分子动力学方法	第21-23页
·蒙特卡罗方法	第23-25页
·研究方法的优选	第25-26页
4 载能粒子沉积薄膜的 KMC 模型	第26-36页
·沉积过程	第29-30页
·非能量粒子沉积时的热扩散过程	第30-32页
·能量粒子在薄膜表面的作用过程	第32-35页
·小结	第35-36页
5 载能粒子沉积薄膜的 KMC 模拟结果	第36-48页
·沉积粒子的能量对薄膜表面形貌的影响	第36-41页
·沉积粒子的入射角度对表面形貌的影响	第41-44页
·溅射沉积中薄膜的形貌	第44-47页
·小结	第47-48页
6 结论与展望	第48-50页
·主要结论	第48页
·展望	第48-50页
致谢	第50-51页
参考文献	第51-54页
附录1 攻读硕士学位期间发表论文	第54页