| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-25页 |
| ·磨料水射流技术概述 | 第11页 |
| ·磨料水射流特种加工技术 | 第11-17页 |
| ·磨料水射流特种加工的特点 | 第13-16页 |
| ·磨料水射流特种加工的精度 | 第16页 |
| ·磨料水射流特种加工的经济性分析 | 第16-17页 |
| ·磨料水射流特种加工技术的国内外研究现状 | 第17-21页 |
| ·磨料水射流特种加工应用研究 | 第17-19页 |
| ·磨料水射流特种加工工艺研究 | 第19-20页 |
| ·磨料水射流特种加工理论模型研究 | 第20-21页 |
| ·半导体硅加工简介 | 第21-23页 |
| ·课题提出的背景及研究内容 | 第23-25页 |
| ·问题提出 | 第23-24页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第24-25页 |
| 2 磨料水射流车削加工的理论研究 | 第25-36页 |
| ·车削加工基本理论 | 第25-29页 |
| ·切削运动 | 第25页 |
| ·切削用量 | 第25-26页 |
| ·切削层参数 | 第26-27页 |
| ·刀具磨损 | 第27-28页 |
| ·车削加工理论 | 第28-29页 |
| ·磨料水射流流体理论 | 第29-31页 |
| ·三相流体状态 | 第29-30页 |
| ·流体的粘性 | 第30-31页 |
| ·磨料水射流车削工艺参数 | 第31-33页 |
| ·水力参数 | 第31-32页 |
| ·切割参数 | 第32-33页 |
| ·车切几何参数 | 第33页 |
| ·磨料水射流车削理论 | 第33-35页 |
| ·车切特征 | 第33-34页 |
| ·车削模型理论 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 3 磨料水射流车削加工实验研究 | 第36-56页 |
| ·磨料水射流车削的实验方案 | 第36-37页 |
| ·磨料水射流车削实验基本条件 | 第37-45页 |
| ·实验材料选择 | 第37-39页 |
| ·实验设备 | 第39-44页 |
| ·车削加工参数的选择 | 第44-45页 |
| ·磨料水射流车削的切口形状特点 | 第45-49页 |
| ·车削表面锥度 | 第47页 |
| ·车削表面波纹度 | 第47-49页 |
| ·磨料水射流车削加工参数对切缝宽度的影响 | 第49-52页 |
| ·射流压力对切缝宽度的影响 | 第49-50页 |
| ·靶距对切缝宽度的影响 | 第50-51页 |
| ·横移速度对切缝宽度的影响 | 第51页 |
| ·工件转速对切缝宽度的影响 | 第51-52页 |
| ·磨料水射流车削加工参数对表面粗糙度的影响 | 第52-55页 |
| ·射流压力对表面粗糙度的影响 | 第52-53页 |
| ·靶距对表面粗糙度的影响 | 第53页 |
| ·横移速度对表面粗糙度的影响 | 第53-54页 |
| ·工件转速对表面粗糙度的影响 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 4 磨料水射流车削单晶硅切缝宽度和表面粗糙度回归分析 | 第56-65页 |
| ·磨料水射流车削工艺参数优化的实验设计方法 | 第56-59页 |
| ·实验材料及优化目标 | 第56-57页 |
| ·工艺因素及水平值 | 第57-58页 |
| ·磨料水射流车削工艺参数优化正交表的设计 | 第58-59页 |
| ·磨料水射流车削硅棒加工工艺优化结果及分析 | 第59-62页 |
| ·实验结果的极差分析 | 第60-61页 |
| ·实验数据极差分析 | 第61-62页 |
| ·磨料水射流车切单晶硅模型 | 第62-63页 |
| ·磨料水射流车削模型建立 | 第62-63页 |
| ·实验数据处理分析 | 第63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 5 磨料水射流车削回归模型的实验验证 | 第65-69页 |
| ·实验目的 | 第65页 |
| ·实验实施 | 第65-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 6 结论与展望 | 第69-71页 |
| ·结论 | 第69-70页 |
| ·展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 攻读硕士学位期间学术论文及科研情况 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |