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硒化镉室温核辐射探测器的表面电极研究

第一章 概论第1-13页
   ·引言第8-9页
   ·室温核辐射探测器材料研究现状第9-13页
     ·几种可用于室温核辐射探测器的材料第9-10页
     ·CdSe材料的特性第10-11页
     ·几种核辐射探测器及其电极结构第11-13页
第二章 核辐射与CdSe的作用方式第13-23页
   ·核辐射分类第13页
   ·核辐射与物质的作用第13-19页
     ·电子与物质的相互作用第13-16页
     ·重带电粒子与物质的相互作用第16-17页
     ·γ射线与物质的相互作用第17-19页
   ·核辐射与CdSe的作用第19-23页
     ·脉冲的形成第19-20页
     ·脉冲的大小第20-21页
     ·~(241)Am的γ射线与CdSe材料的作用第21-23页
第三章 MIS结构与MS结构的电子输运第23-29页
   ·MS结构的电子输运第23-25页
     ·理想的MS结构第23-24页
     ·表面态、肖特基接触和欧姆接触第24-25页
   ·MIS结构的电子输运第25-27页
     ·理想的MIS结构第25-26页
     ·表面态、表面势和空间电荷分布第26-27页
   ·CdSe探测器的电极制备结构第27-29页
第四章 CdSe探测表面钝化第29-37页
   ·CdSe探测器的表面湿氧钝化工艺第29页
   ·CdSe表面钝化后XPS分析第29-37页
     ·CdSe(110)晶面的湿氧钝化的XPS分析第30-33页
     ·CdSe(001)晶面的干氧钝化工艺及XPS分析第33-35页
     ·钝化后的CdSe晶片表面元素定量分析第35-37页
第五章 CdSe探测器的MS结构与MIS结构制备及IV测试第37-49页
   ·CdSe探测器漏电的理论分析第37-39页
   ·CdSe探测器的极化机理第39-40页
   ·CdSe探测器的电极结构制备及IV测试第40-49页
     ·CdSe的MSM型光电导探测器制作及IV测试第40-42页
     ·CdSe的MIS型光电导探测器制作及IV测试第42-45页
     ·CdSe核辐射探测器的MSM结构与MIS结构的比较第45-47页
     ·CdSe核辐射探测器的单面电极结构制备与IV曲线分析第47-49页
第六章 结论第49-50页
参考文献第50-52页
硕士期间发表论文及参加的科研项目第52-53页
声明第53-54页
致谢第54页

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