二元光学元件矢量衍射设计与并行直写制作
| 目录 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| §1．1 二元光学简介 | 第8-11页 |
| 1．1．1 二元光学的基本概念 | 第8页 |
| 1．1．2 二元光学元件的设计理论 | 第8-10页 |
| 1．1．3 二元光学元件的制作工艺 | 第10页 |
| 1．1．4 二元光学元件的应用领域 | 第10-11页 |
| §1．2 目前的研究动态 | 第11-13页 |
| 1．2．1 矢量衍射理论研究动态 | 第11-12页 |
| 1．2．2 直写制作工艺研究动态 | 第12-13页 |
| §1．3 本文的内容安排 | 第13-15页 |
| 第二章 亚波长结构光栅的设计理论 | 第15-23页 |
| §2．1 一维严格耦合波分析理论 | 第15-18页 |
| §2．2 二维严格耦合波分析理论 | 第18-21页 |
| §2．3 等效介质理论 | 第21-22页 |
| §2．4 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 抗反射光栅的设计与特性分析 | 第23-36页 |
| §3．1 抗反射光栅设计背景 | 第23-24页 |
| §3．2 一维光栅抗反射设计与特性分析 | 第24-28页 |
| 3．2．1 一维光栅不发生衍射的条件 | 第24-25页 |
| 3．2．2 一维单层光栅抗反射设计与特性分析 | 第25-27页 |
| 3．2．3 一维多层光栅抗反射设计与特性分析 | 第27-28页 |
| §3．3 二维光栅抗反射设计与特性分析 | 第28-35页 |
| 3．3．1 二维光栅不发生衍射的条件 | 第28-29页 |
| 3．3．2 二维单层光栅抗反射设计与特性分析 | 第29-32页 |
| 3．3．3 二维多层光栅抗反射设计与特性分析 | 第32-35页 |
| §3．4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 偏振分束光栅的设计与特性分析 | 第36-44页 |
| §4．1 一维偏振分束光栅设计与特性分析 | 第36-39页 |
| §4．2 单层薄膜偏振分束光栅设计与特性分析 | 第39-40页 |
| §4．3 多层薄膜偏振分束光栅设计与特性分析 | 第40-43页 |
| §4．4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 亚波长结构Dammann光栅设计 | 第44-59页 |
| §5．1 亚波长Dammann光栅的设计原理 | 第45-47页 |
| 5．1．1 亚波长Dammann光栅的光栅结构 | 第45-46页 |
| 5．1．2 Dammann光栅设计方法 | 第46-47页 |
| §5．2 遗传算法 | 第47-51页 |
| §5．3 亚波长Dammann光栅的设计实例 | 第51-53页 |
| 5．3．1 分束数为5的Dammann光栅 | 第51页 |
| 5．3．2 分束数为7的Dammann光栅 | 第51-52页 |
| 5．3．3 分束数为9的Dammann光栅 | 第52-53页 |
| §5．4 设计结果分析 | 第53-56页 |
| 5．4．1 衍射效率分析 | 第53-54页 |
| 5．4．2 波长唯一性和偏振唯一性 | 第54-56页 |
| 5．4．3 衍射角度 | 第56页 |
| §5．5 制作精度对Dammann光栅的影响 | 第56-58页 |
| §5．6 本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 二元光学元件的并行直写制作 | 第59-73页 |
| §6．1 二元光学元件制作工艺综述 | 第59-61页 |
| §6．2 并行直写系统简介 | 第61-65页 |
| 6．2．1 并行直写系统的设计理论基础 | 第62-63页 |
| 6．2．2 光源 | 第63页 |
| 6．2．3 空间光调制器 | 第63页 |
| 6．2．4 光学系统 | 第63-64页 |
| 6．2．5 快门 | 第64页 |
| 6．2．6 二维气浮平台 | 第64-65页 |
| §6．3 制作工艺 | 第65-69页 |
| 6．3．1 基片预处理 | 第65页 |
| 6．3．2 匀胶 | 第65-66页 |
| 6．3．3 前烘 | 第66页 |
| 6．3．4 并行直写 | 第66-68页 |
| 6．3．5 显影 | 第68页 |
| 6．3．6 后烘 | 第68页 |
| 6．3．7 刻蚀 | 第68-69页 |
| 6．3．8 去胶 | 第69页 |
| §6．4 实验结果 | 第69-72页 |
| §6．5 本章小结 | 第72-73页 |
| 第七章 结论与展望 | 第73-75页 |
| §7．1 主要研究结论 | 第73-74页 |
| §7．2 进一步研究展望 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-83页 |
| 作者在攻读硕士期间的论文和成果 | 第83页 |
