光学式非接触厚度-微位移测量仪的研制
| 中文摘要 | 第1-7页 |
| 英文摘要 | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-20页 |
| 1．1 引言 | 第8页 |
| 1．2 测厚度-微位移的主要方法及原理 | 第8-14页 |
| 1．3 光电式非接触测厚-微位移的引出与论述 | 第14-17页 |
| 1．4 光电式测厚仪的国内外研究现状及发展趋势 | 第17-18页 |
| 1．5 本章小结 | 第18-20页 |
| 第2章 基本理论及实验装置结构 | 第20-26页 |
| 2．1 概述 | 第20页 |
| 2．2 三角测量法基本原理及公式推导 | 第20-22页 |
| 2．3 实验装置设计 | 第22-25页 |
| 2．3．1 实验装置组成 | 第22页 |
| 2．3．2 光路设计 | 第22-23页 |
| 2．3．3 透镜用于光束聚焦和成像两个方面 | 第23-24页 |
| 2．3．4 光路结构 | 第24-25页 |
| 2．4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 信号的采集及处理 | 第26-43页 |
| 3．1 PSD原理、特性 | 第26-32页 |
| 3．1．1 PSD概述 | 第26-28页 |
| 3．1．2 PSD的种类 | 第28-32页 |
| 3．2 PSD测量放大电路设计 | 第32-34页 |
| 3．2．1 方案选择 | 第32-33页 |
| 3．2．2 PSD测量电路 | 第33页 |
| 3．2．3 电路工作原理 | 第33-34页 |
| 3．3 影响测量精度的因素 | 第34-35页 |
| 3．3．1 PSD信号检测电路引起的误差 | 第34页 |
| 3．3．2 PSD器件固有的检测误差与分辨率 | 第34-35页 |
| 3．3．3 PSD器件的暗电流和外界杂散光 | 第35页 |
| 3．3．4 电路的漂移 | 第35页 |
| 3．4 单片机系统设计 | 第35-42页 |
| 3．4．1 硬件设计 | 第35-38页 |
| 3．4．2 软件设计 | 第38-42页 |
| 3．5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 数据分析、讨论 | 第43-64页 |
| 4．1 激光器的选择 | 第43-45页 |
| 4．2 各种测量条件下数据比较 | 第45-52页 |
| 4．2．1 系统稳定性测试 | 第45-46页 |
| 4．2．2 系统连续测量准确性测试 | 第46-48页 |
| 4．2．3 像差对测量结果的影响 | 第48-52页 |
| 4．3 数据分析 | 第52-63页 |
| 4．4 本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第70-71页 |
| 个人简历 | 第71页 |
