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强流脉冲离子束类金刚石薄膜沉积及高速钢辐照处理研究

中文摘要第1-6页
英文摘要第6-8页
目录第8-10页
第一章 文献综述第10-27页
 §1.1 载能束技术及应用第10-12页
 §1.2 HIPIB技术的特点及其应用概述第12-18页
 §1.3 HIPIB技术的国内外发展状况及存在的问题第18-19页
 §1.4 研究对象选择的依据第19-22页
 §1.5 本论文的研究背景第22-23页
 参考文献第23-27页
第二章 强流脉冲离子束产生及其辐照效应第27-33页
 §2.1 TEMP型强流脉冲离子加速器及其工作原理第27-30页
 §2.2 强流脉冲离子束的辐照效应第30-32页
 参考文献第32-33页
第三章 HIPIB烧蚀等离子体沉积类金刚石膜的结构及性能第33-50页
 §3.1 DLC薄膜沉积及表征方法第33-36页
 §3.2 DLC薄膜的微观结构第36-43页
 §3.3 DLC薄膜的宏观性能表征第43-48页
 §3.4 本章小结第48页
 参考文献第48-50页
第四章 实验参数对DLC薄膜的微观状态和宏观性能的影响第50-84页
 §4.1 靶基距对DLC薄膜微观状态和宏观性能的影响第50-66页
 §4.2 基片温度对DLC薄膜微观状态和宏观性能的影响第66-79页
 §4.3 C离子注入后的Si(100)作基片对DLC薄膜化学结构的影响第79-80页
 §4.4 HIPIB烧蚀等离子体沉积DLC薄膜的成膜机理初探第80-82页
 §4.5 本章小结第82-83页
 参考文献第83-84页
第五章 HIPIB辐照高速钢表面改性研究第84-111页
 §5.1 HIPIB高速钢辐照处理的实验方法和表征方法第84-85页
 §5.2 HIPIB辐照对高速钢相结构的影响第85-89页
 §5.3 HIPIB辐照对高速钢微结构及表面成份的影响第89-102页
 §5.4 HIPIB对高速钢性能的影响第102-108页
 §5.5 HIPIB辐照处理高速钢表面改性机理讨论第108-109页
 §5.6 本章小结第109-110页
 参考文献第110-111页
第六章 结论与展望第111-113页
创新点摘要第113-114页
博士期间发表论文第114-115页
致谢第115-116页

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