横向场激励模式的压电体声波传感器机理研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·课题的来源和研究意义 | 第10-11页 |
| ·横向场激励模式体声波器件的研究概况 | 第11-18页 |
| ·LFE 器件的基本原理及其特点 | 第11-13页 |
| ·LFE 器件的结构研究 | 第13-15页 |
| ·LFE 器件的材料特性研究 | 第15-16页 |
| ·LFE 器件在频率控制方面的应用研究 | 第16-17页 |
| ·LFE 器件在液体检测中的应用研究 | 第17-18页 |
| ·论文的任务 | 第18-20页 |
| 第2章 横向场激励模式器件的理论分析与计算 | 第20-42页 |
| ·引言 | 第20-21页 |
| ·LFE 压电体声波的传播方程 | 第21-24页 |
| ·LFE 机电耦合系数 | 第24-35页 |
| ·石英晶体LFE 机电耦合系数 | 第26-29页 |
| ·硅酸镓镧晶体LFE 机电耦合系数 | 第29-32页 |
| ·铌酸锂晶体LFE 机电耦合系数 | 第32-33页 |
| ·钽酸锂晶体LFE 机电耦合系数 | 第33-35页 |
| ·LFE 器件声波相速度 | 第35-41页 |
| ·石英晶体LFE 声波相速度 | 第37-38页 |
| ·硅酸镓镧晶体LFE 声波相速度 | 第38-39页 |
| ·铌酸锂晶体LFE 声波相速度 | 第39-40页 |
| ·钽酸锂晶体LFE 声波相速度 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第3章 横向场激励模式器件的频率温度特性研究 | 第42-51页 |
| ·概述 | 第42页 |
| ·理论基础 | 第42-44页 |
| ·石英LFE 器件的频率温度特性 | 第44-46页 |
| ·硅酸镓镧LFE 器件的频率温度特性 | 第46-47页 |
| ·铌酸锂LFE 器件的频率温度特性 | 第47-49页 |
| ·钽酸锂LFE 器件的频率温度特性 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第4章 横向场激励模式器件的等效电路研究 | 第51-63页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·LFE 器件的Mason 等效模型 | 第51-54页 |
| ·LFE 器件的等效电路 | 第54-56页 |
| ·LFE 器件的等效电路分析 | 第56-57页 |
| ·几种材料的LFE 器件谐振时动态电阻分析 | 第57-62页 |
| ·铌酸锂单晶 LFE 器件的等效电路实验 | 第57-60页 |
| ·三种材料谐振时动态电阻比较 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 横向场激励模式传感器及其测试仪的研制 | 第63-81页 |
| ·LFE 传感器的设计 | 第63-69页 |
| ·LFE 器件的能陷效应 | 第63-67页 |
| ·LFE 器件的结构设计 | 第67页 |
| ·LFE 传感器的结构设计 | 第67-69页 |
| ·体声波器件测试方法简介 | 第69-70页 |
| ·LFE 器件测试方法的提出 | 第70-71页 |
| ·谐振检测仪的研制 | 第71-73页 |
| ·谐振测量的基本原理 | 第71-72页 |
| ·调制电容补偿技术 | 第72页 |
| ·串联谐振频率fs 及动态电阻R_m 的测量 | 第72-73页 |
| ·锁相检测仪的研制 | 第73-77页 |
| ·锁相检测的基本原理 | 第73-74页 |
| ·锁相检测电容补偿技术 | 第74-75页 |
| ·锁相检测仪的动态电阻 R_m的测量 | 第75-76页 |
| ·锁相检测仪的误差分析 | 第76-77页 |
| ·两种检测仪的比较 | 第77-78页 |
| ·基于ARM 的数据采集系统的研制 | 第78-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 第6章 横向场激励模式器件的性能研究 | 第81-113页 |
| ·引言 | 第81页 |
| ·LFE 器件的三种工作模式 | 第81-91页 |
| ·几种材料切型的耦合特点分析 | 第81-84页 |
| ·实验方法 | 第84-86页 |
| ·实验结果和讨论 | 第86-91页 |
| ·伪LFE 模式石英器件的液相性能分析 | 第91-102页 |
| ·AT 切石英LFE 和 TFE 器件的性能比较 | 第91-94页 |
| ·AT 切石英LFE 器件在液体中的等效电路 | 第94-98页 |
| ·石英 LFE 器件的伪LFE 工作模式的验证 | 第98-102页 |
| ·几种结构纯LFE 模式铌酸锂器件的液相性能分析 | 第102-108页 |
| ·准LFE 模式钽酸锂器件的液相性能分析 | 第108-112页 |
| ·本章小结 | 第112-113页 |
| 第7章 总结 | 第113-116页 |
| ·论文完成的主要工作 | 第113-115页 |
| ·论文工作的主要创新点 | 第115页 |
| ·对今后工作的建议 | 第115-116页 |
| 参考文献 | 第116-125页 |
| 致谢 | 第125-126页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第126-128页 |
