| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-21页 |
| ·空间晶体生长介绍 | 第13-14页 |
| ·空间晶体生长的研究现状 | 第14-19页 |
| ·空间晶体生长国外研究现状 | 第14-17页 |
| ·空间晶体生长国内研究现状 | 第17-19页 |
| ·课题的研究意义和主要研究内容 | 第19-21页 |
| ·课题的研究意义 | 第19页 |
| ·主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 空间晶体生长控制系统硬件设计 | 第21-41页 |
| ·系统硬件要完成的任务 | 第21页 |
| ·系统的详细硬件设计方案 | 第21-35页 |
| ·信号调理单元硬件设计 | 第22-26页 |
| ·控制单元硬件设计 | 第26-31页 |
| ·驱动单元硬件设计 | 第31-33页 |
| ·电源单元硬件设计 | 第33-35页 |
| ·系统硬件的抗干扰措施 | 第35-40页 |
| ·电路设计中的抗干扰措施 | 第36-39页 |
| ·布线中的抗干扰措施 | 第39-40页 |
| ·电缆线抗干扰措施 | 第40页 |
| ·小结 | 第40-41页 |
| 第三章 空间晶体生长控制系统的软件设计 | 第41-57页 |
| ·系统软件要完成的任务 | 第41页 |
| ·系统的详细软件设计方案 | 第41-54页 |
| ·温度控制模块的软件设计 | 第41-46页 |
| ·电动机控制模块的软件设计 | 第46-52页 |
| ·通讯 Modbus协议软件设计 | 第52-54页 |
| ·系统软件抗干扰措施 | 第54-55页 |
| ·小结 | 第55-57页 |
| 第四章 空间晶体生长系统温度模型辨识与控制方案 | 第57-76页 |
| ·晶体生长炉温度模型辨识方案 | 第57-67页 |
| ·机理建模 | 第57-59页 |
| ·MISO相关系数最小二乘法辨识法 | 第59-65页 |
| ·建模结果与仿真 | 第65-67页 |
| ·晶体生长炉温度控制方案 | 第67-75页 |
| ·基于 Hook-Jeeves模式搜索法的PID参数整定 | 第67-70页 |
| ·前馈控制器设计 | 第70页 |
| ·实际控制实验 | 第70-75页 |
| ·小结 | 第75-76页 |
| 第五章 系统调试与分析 | 第76-81页 |
| ·系统调试环境介绍 | 第76-78页 |
| ·星研仿真器 | 第76-77页 |
| ·集成开发环境 KEIL | 第77-78页 |
| ·系统硬件调试 | 第78页 |
| ·系统软件调试 | 第78-79页 |
| ·小结 | 第79-81页 |
| 第六章 结论与展望 | 第81-83页 |
| ·结论 | 第81页 |
| ·展望 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-85页 |
| 致谢 | 第85-87页 |
| 研究成果及发表的学术论文 | 第87-89页 |
| 作者简介 | 第89-90页 |
| 北京化工大学 硕士研究生学位论文答辩委员会决议书 | 第90-91页 |