基于仿蚊子口器的异平面空心微针研究
摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-8页 |
1 绪论 | 第8-20页 |
·课题背景简介 | 第8-12页 |
·仿生学概述 | 第8-9页 |
·蚊子口器的结构形态 | 第9-12页 |
·微针的发展现状与趋势 | 第12-19页 |
·微针的分类 | 第12-14页 |
·微针的制作工艺 | 第14-16页 |
·微针的制作材料 | 第16-19页 |
·本课题的研究意义与内容 | 第19-20页 |
2 微针及进样系统的设计 | 第20-28页 |
·微针材料、类型的选择及尺寸设计 | 第20-23页 |
·微针材料、类型的选择 | 第20页 |
·设计微针尺寸 | 第20-23页 |
·进样系统的设计 | 第23-27页 |
·本章小结 | 第27-28页 |
3 制作异平面空心微针阵列 | 第28-46页 |
·微针的制作工艺 | 第28-30页 |
·实验所用设备 | 第30-31页 |
·干法刻蚀制备微针针孔 | 第31-40页 |
·干法刻蚀的原理介绍 | 第31-33页 |
·感应耦合等离子体刻蚀 | 第33-36页 |
·DRIE微针针孔 | 第36-38页 |
·微针针孔的掩膜图形 | 第38-39页 |
·针孔剖面SEM图 | 第39-40页 |
·湿法腐蚀制备微针针尖 | 第40-44页 |
·湿法腐蚀技术简介 | 第40-41页 |
·制作针尖的正方形掩膜图形 | 第41-42页 |
·空心微针SEM图 | 第42-44页 |
·本章小结 | 第44-46页 |
4 空心硅微针阵列进样测试 | 第46-51页 |
·前期测试实验 | 第46-49页 |
·浇注PDMS并与硅片键合 | 第46-47页 |
·利用毛细作用进样 | 第47-48页 |
·通过导管将注射器与微针联接的进样 | 第48页 |
·取消导管而将注射器直接与针孔相连接 | 第48-49页 |
·微针强度的测试 | 第49-50页 |
·实验所用设备 | 第49页 |
·选择猪皮为进样样品测试微针的强度和进样性能 | 第49-50页 |
·本章小结 | 第50-51页 |
结论 | 第51-52页 |
参考文献 | 第52-56页 |
攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第56-57页 |
致谢 | 第57-58页 |