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基于仿蚊子口器的异平面空心微针研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
1 绪论第8-20页
   ·课题背景简介第8-12页
     ·仿生学概述第8-9页
     ·蚊子口器的结构形态第9-12页
   ·微针的发展现状与趋势第12-19页
     ·微针的分类第12-14页
     ·微针的制作工艺第14-16页
     ·微针的制作材料第16-19页
   ·本课题的研究意义与内容第19-20页
2 微针及进样系统的设计第20-28页
   ·微针材料、类型的选择及尺寸设计第20-23页
     ·微针材料、类型的选择第20页
     ·设计微针尺寸第20-23页
   ·进样系统的设计第23-27页
   ·本章小结第27-28页
3 制作异平面空心微针阵列第28-46页
   ·微针的制作工艺第28-30页
   ·实验所用设备第30-31页
   ·干法刻蚀制备微针针孔第31-40页
     ·干法刻蚀的原理介绍第31-33页
     ·感应耦合等离子体刻蚀第33-36页
     ·DRIE微针针孔第36-38页
     ·微针针孔的掩膜图形第38-39页
     ·针孔剖面SEM图第39-40页
   ·湿法腐蚀制备微针针尖第40-44页
     ·湿法腐蚀技术简介第40-41页
     ·制作针尖的正方形掩膜图形第41-42页
     ·空心微针SEM图第42-44页
   ·本章小结第44-46页
4 空心硅微针阵列进样测试第46-51页
   ·前期测试实验第46-49页
     ·浇注PDMS并与硅片键合第46-47页
     ·利用毛细作用进样第47-48页
     ·通过导管将注射器与微针联接的进样第48页
     ·取消导管而将注射器直接与针孔相连接第48-49页
   ·微针强度的测试第49-50页
     ·实验所用设备第49页
     ·选择猪皮为进样样品测试微针的强度和进样性能第49-50页
   ·本章小结第50-51页
结论第51-52页
参考文献第52-56页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第56-57页
致谢第57-58页

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