| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| ·稀磁半导体研究概况 | 第11-13页 |
| ·稀磁半导体简介 | 第11-12页 |
| ·稀磁半导体的研究现状 | 第12-13页 |
| ·In_2O_3基稀磁半导体 | 第13-16页 |
| ·In_2O_3的结构特性 | 第13页 |
| ·In_2O_3基稀磁半导体的研究现状及存在问题 | 第13-16页 |
| ·SiC 基稀磁半导体 | 第16-18页 |
| ·SiC 的结构特性 | 第16-17页 |
| ·SiC 基稀磁半导体的研究现状及存在问题 | 第17-18页 |
| ·本论文的研究目的及研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 半导体薄膜的制备与表征 | 第19-27页 |
| ·半导体薄膜的制备 | 第19-21页 |
| ·磁控溅射方法简介 | 第19-20页 |
| ·实验材料与设备 | 第20-21页 |
| ·清洗基片 | 第21页 |
| ·表征方法 | 第21-26页 |
| ·X 射线衍射(XRD) | 第21-22页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第22-23页 |
| ·X 射线光电子能谱(XPS) | 第23页 |
| ·X 射线吸收精细结构谱(XAFS) | 第23-24页 |
| ·磁性能测试 | 第24-25页 |
| ·电输运性能测试 | 第25页 |
| ·光学性能测试 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 Mn 掺杂 In_2O_3基稀磁半导体薄膜的制备、结构与性能 | 第27-43页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·实验过程 | 第27页 |
| ·结果与讨论 | 第27-42页 |
| ·Mn 掺杂 In_2O_3薄膜的成分与含量分析 | 第27-28页 |
| ·Mn 掺杂 In_2O_3薄膜的 X 射线衍射分析 | 第28-29页 |
| ·Mn 掺杂 In_2O_3薄膜的表面形貌 | 第29-30页 |
| ·Mn 掺杂 In_2O_3薄膜的价态分析 | 第30-31页 |
| ·Mn 掺杂 In_2O_3薄膜的局域结构分析 | 第31-36页 |
| ·Mn 掺杂 In_2O_3薄膜的磁性分析 | 第36-37页 |
| ·Mn 掺杂 In_2O_3薄膜的输运特性 | 第37-39页 |
| ·Mn 掺杂 In_2O_3薄膜的禁带宽度和缺陷分析 | 第39-41页 |
| ·Mn 掺杂 In_2O_3薄膜磁性来源的解释 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 Co 掺杂 In_2O_3基稀磁半导体薄膜的制备、结构与性能 | 第43-54页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·实验过程 | 第43页 |
| ·结果与讨论 | 第43-53页 |
| ·Co 掺杂 In_2O_3薄膜的成分与含量分析 | 第43-44页 |
| ·Co 掺杂 In_2O_3薄膜的 X 射线衍射分析 | 第44-45页 |
| ·Co 掺杂 In_2O_3薄膜的表面形貌 | 第45-46页 |
| ·Co 掺杂 In_2O_3薄膜的价态分析 | 第46-47页 |
| ·Co 掺杂 In_2O_3薄膜的局域结构分析 | 第47-49页 |
| ·Co 掺杂 In_2O_3薄膜的磁性分析 | 第49-50页 |
| ·Co 掺杂 In_2O_3薄膜的输运特性 | 第50-52页 |
| ·Co 掺杂 In_2O_3薄膜的缺陷分析 | 第52页 |
| ·Co 掺杂 In_2O_3薄膜磁性来源的解释 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 Cr 掺杂及 Cr、Mn 共掺杂 SiC 基稀磁半导体薄膜的微结构与磁、输运性能 | 第54-77页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·实验过程 | 第54-55页 |
| ·Cr 掺杂 SiC 薄膜的结果与讨论 | 第55-62页 |
| ·Cr 掺杂 SiC 薄膜的 X 射线衍射分析 | 第55-56页 |
| ·Cr 掺杂 SiC 薄膜的价态分析 | 第56-57页 |
| ·Cr 掺杂 SiC 薄膜的局域结构分析 | 第57-60页 |
| ·Cr 掺杂 SiC 薄膜的输运特性 | 第60-62页 |
| ·Cr、Mn 共掺杂 SiC 薄膜的结果与讨论 | 第62-73页 |
| ·Cr、Mn 共掺杂 SiC 薄膜的 X 射线衍射分析 | 第62-63页 |
| ·Cr、Mn 共掺杂 SiC 薄膜的价态分析 | 第63-65页 |
| ·Cr、Mn 共掺杂 SiC 薄膜的局域结构分析 | 第65-71页 |
| ·Cr、Mn 共掺杂 SiC 薄膜的输运特性 | 第71-73页 |
| ·Cr 掺杂 SiC 和 Cr、Mn 共掺杂 SiC 薄膜的磁性 | 第73-75页 |
| ·Cr 掺杂 SiC 和 Cr、Mn 共掺杂 SiC 薄膜的磁性分析 | 第73-74页 |
| ·Cr 掺杂 SiC 和 Cr、Mn 共掺杂 SiC 薄膜磁性来源的解释 | 第74-75页 |
| ·本章小结 | 第75-77页 |
| 第六章 结论 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-84页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
